Направления исследований

Моделирование атомарной структуры материалов и взаимодействия быстрых электронов и ионов с веществом

Электронная микроскопия полупроводниковых материалов

Электронно-микроскопическая характеризация углеродных материалов

Комплексный анализ структуры интегральных микросхем