Научно-исследовательская лаборатория электронной микроскопии (НИЛ ЭМИ)
Методы исследования и оборудование
Просвечивающая электронная микроскопия
Электронный микроскоп Titan Themis 200 с корректором сферической аберрации в режиме изображений и высокоскоростным энергодисперсионным рентгеновским микроанализатором, ускоряющее напряжение – 80–200 кВ, разрешение в режиме изображения – 90 пм, растровом режиме – 160 пм.
Растровая электронная микроскопия и фокусированный ионный пучок
Растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650, ускоряющее напряжение: электронного пучка – (0,05 – 30) кВ, ионного пучка – (0,5 – 30) кВ; предельное разрешение изображений, получаемых с помощью электронного пучка – 0,8 нм, ионного пучка – 4,5 нм.
Растровый электронный микроскоп Philips XL 40, ускоряющее напряжение электронного пучка – (0,05–30) кВ; предельное разрешение изображений – 3,5 нм.
Оптическая микроскопия
Микроскоп Vistec INM100, увеличение: 50х – 1500х.
Микроскоп Nikon LV150, увеличение: 100х – 1000х.
Вспомогательное оборудование
Установки для механического и ионного утонения электронно-микроскопических образцов
Оборудование для анализа структуры интегральных микросхем.
|
|
|
Просвечивающий микроскоп Titan Themis 200 |
Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650 |
Оптический микроскоп Vistec INM100 |