Методы исследования и оборудование

Просвечивающая электронная микроскопия

Электронный микроскоп Titan Themis 200 с корректором сферической аберрации в режиме изображений и высокоскоростным энергодисперсионным рентгеновским микроанализатором, ускоряющее напряжение – 80–200 кВ, разрешение в режиме изображения – 90 пм, растровом режиме – 160 пм.

Растровая электронная микроскопия и фокусированный ионный пучок

Растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650, ускоряющее напряжение: электронного пучка – (0,05 – 30) кВ, ионного пучка – (0,5 – 30) кВ; предельное разрешение изображений, получаемых с помощью электронного пучка – 0,8 нм, ионного пучка – 4,5 нм.

Растровый электронный микроскоп Philips XL 40, ускоряющее напряжение электронного пучка – (0,05–30) кВ; предельное разрешение изображений – 3,5 нм.

Оптическая микроскопия

Микроскоп Vistec INM100, увеличение: 50х – 1500х.

Микроскоп Nikon LV150, увеличение: 100х – 1000х.

Вспомогательное оборудование

Установки для механического и ионного утонения электронно-микроскопических образцов

Оборудование для анализа структуры интегральных микросхем.

Просвечивающий микроскоп Titan Themis 200	Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650	Оптический микроскоп Vistec INM100