МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта
Авторизация
Научно-исследовательская лаборатория электронной микроскопии  
Руководитель: д.ф.-м.н., профессор Николай Иванович Боргардт
телефон: (499) 720-87-65, внутренний телефон: 29-65
E-mail: lemi@miee.ru
Аудитория: 7109

Методы исследования и оборудование

Просвечивающая электронная микроскопия

Электронный микроскоп Titan Themis 200 с корректором сферической аберрации в режиме изображений и высокоскоростным энергодисперсионным рентгеновским микроанализатором, ускоряющее напряжение – 80–200 кВ, разрешение в режиме изображения – 90 пм, растровом режиме – 160 пм.

Растровая электронная микроскопия и фокусированный ионный пучок

Растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650, ускоряющее напряжение: электронного пучка – (0,05 – 30) кВ, ионного пучка – (0,5 – 30) кВ; предельное разрешение изображений, получаемых с помощью электронного пучка – 0,8 нм, ионного пучка – 4,5 нм.

Растровый электронный микроскоп Philips XL 40, ускоряющее напряжение электронного пучка – (0,05–30) кВ; предельное разрешение изображений – 3,5 нм.

Оптическая микроскопия

Микроскоп Vistec INM100, увеличение: 50х – 1500х.

Микроскоп Nikon LV150, увеличение: 100х – 1000х.

Вспомогательное оборудование

Установки для механического и ионного утонения электронно-микроскопических образцов

Оборудование для анализа структуры интегральных микросхем.


Просвечивающий электронный микроскоп Titan Themis 200.JPG

Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650.jpg

Оптический микроскоп Vistec INM100.JPG

Просвечивающий микроскоп Titan Themis 200

Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650

Оптический микроскоп Vistec INM100