+7 (495) 198-00-00 Горячая линия ситуационного центра Минобрнауки
по вопросам поддержки образовательных организаций высшего образования, а также их сотрудников и обучающихся, по вопросам профилактики распространения COVID-19 перейти на сайт МОН

Научно-исследовательская лаборатория «Проектирование и изготовление фотошаблонов» (НИЛ ФШ)

Начальник: кандидат технических наук Вячеслав Алексеевич Овчинников
Телефон:(499) 720-69-24, (499) 720-69-67, Факс:(499) 720-69-70

Основным видом деятельности НИЛ ФШ являются исследование и разработка технологических процессов формирования топологического рисунка ИС в маскирующем слое фотошаблонов методами лазерной и электронно-лучевой литографии, включая процессы аттестации на соответствие проектным данным.

В НИЛ ФШ разработаны и внедрены технологические процессы по изготовлению стандартных бинарных фотошаблонов по замкнутому технологическому циклу для проекционной и контактной литографии, включая обработку исходных данных, введение коэффициентов коррекции топологических элементов, подготовку управляющей информации в заданном формате, для процесса прямой литографии на полупроводниковые пластины.

В процессе исследований и разработок технологических процессов используются современные методы и ПО по обработке исходных данных, учитывающие особенности литографических процессов и используемых материалов.

Мы сотрудничаем с более 50 предприятиями по всей территории Российской Федерации.