НИЛ ФШ оснащена специальным технологическим и аналитическим оборудованием, программно-аппаратными комплексами для выполнения поставленных задач, в том числе:

• Лазерный и электронно-лучевой генераторы изображения;
• Автоматизированные системы физико-химической обработки фотошаблонов;
• Метрологическая станция для выполнения операции аттестации фотошаблонов и контроля совмещаемости слоев;
• Автоматизированное контрольно-измерительное оборудование;
• Установки автоматического контроля топологии фотошаблонов на соответствие проектным данным;
• Установка лазерного устранения недопустимых дефектов маскирующего покрытия фотошаблона.