Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  

Научно-исследовательская лаборатория «Разработка технологий нано- и микросистемной техники» (НИЛ РТ)

Начальник лаборатории: к.т.н. Виталий Иосифович Золотарёв
Телефон:(499) 720-69-07

Разработка технологических процессов и маршрутов изготовления МЭМС и датчиков различного назначения с использованием технологического, измерительного и аналитического оборудования НТЦ НМСТ.

Датчики с низкой температурной чувствительностью, например, датчики магнитного поля разрабатываются в конструктивном исполнении с расположением чувствительных элементов на поверхности кремниевых пластин. Сенсоры на базе датчиков с высокой температурной чувствительностью, такие как измерители расходов жидкостей и газов, разрабатываются с применением технологии изготовления мембранных носителей.

Чувствительность инерционных датчиков или переключателей зависит от рабочей атмосферы или требует применения вакуума. С той целью используется оборудование для бондинга пластин в контролируемой газовой среде или вакуума.

Разрабатываемые процессы и технологические маршруты предусматривает привязку к технологии формирования ИС считывания и обработки сигналов датчиков.

Специальное оборудование для технологии МЭМС: