Разработка технологических процессов и маршрутов изготовления МЭМС и датчиков различного назначения с использованием технологического, измерительного и аналитического оборудования НТЦ НМСТ.

Датчики с низкой температурной чувствительностью, например, датчики магнитного поля разрабатываются в конструктивном исполнении с расположением чувствительных элементов на поверхности кремниевых пластин. Сенсоры на базе датчиков с высокой температурной чувствительностью, такие как измерители расходов жидкостей и газов, разрабатываются с применением технологии изготовления мембранных носителей.

Чувствительность инерционных датчиков или переключателей зависит от рабочей атмосферы или требует применения вакуума. С той целью используется оборудование для бондинга пластин в контролируемой газовой среде или вакуума.

Разрабатываемые процессы и технологические маршруты предусматривает привязку к технологии формирования ИС считывания и обработки сигналов датчиков.

Специальное оборудование для технологии МЭМС:

• бoндинг SUSS SB6;
• плазменное травление жертвенного окисла PrimaxxMonarch 3;
• установка селективного изотропного травления кремния Xactix;
• установка магнетронного напыления металлов Магна-ТМ-003;
• установка магнетронного напыления многослойных магнитных и диэлектрических пленок ATC-22000-UHV;
• низкотемпературное осаждение диэлектриков NovellusConceptOne;
• установка атомно-слоевого осаждения ALDPicosun;
• установка ионно-лучевого травления материалов Nano-Master.