Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти

Научно-исследовательская лаборатория «Разработка технологий нано- и микросистемной техники» (НИЛ РТ)

Начальник лаборатории: к.т.н. Виталий Иосифович Золотарёв
Телефон:(499) 720-69-07

Научно-исследовательская лаборатория «Разработка технологий нано- и микросистемной техники» (НИЛ РТ) является структурным подразделением Научно-технологического центра «Нано- и микросистемной техники» (НТЦ НМСТ) при Национальном исследовательском университете «МИЭТ».

Деятельность лаборатории посвящена разработке технологических процессов и маршрутов изготовления МЭМС и датчиков различного назначения с использованием технологического, измерительного и аналитического оборудования НТЦ НМСТ.