Научно-исследовательская лаборатория «Разработка технологий нано- и микросистемной техники» (НИЛ РТ)
Начальник лаборатории: к.т.н. Виталий Иосифович Золотарёв
Телефон:(499) 720-69-07
E-mail: zolotarev@ntc-nmst.ru
Научно-исследовательская лаборатория «Разработка технологий нано- и микросистемной техники» (НИЛ РТ) является структурным подразделением Научно-технологического центра «Нано- и микросистемной техники» (НТЦ НМСТ) при Национальном исследовательском университете «МИЭТ».
Деятельность лаборатории посвящена разработке технологических процессов и маршрутов изготовления МЭМС и датчиков различного назначения с использованием технологического, измерительного и аналитического оборудования НТЦ НМСТ.