Оборудование

Дизайн-центр «Проектирование интегральных микроэлектронных систем» (ДЦ ПМС)

Директор: к.т.н. Вениамин Георгиевич Стахин

Телефон:(499) 750-89-52, Факс:(499) 750-89-52, Внутренний телефон:29-52

Аудитория:7211

E-mail: stakhin@idm-plus.ru

Внешний вид комплекса ДМТ 518-1

Комплекс ДМТ 518-1 для измерения и контроля параметров высокочастотных интегральных микросхем и устройств.

Основные технические характеристики приведены в таблице 1

Таблица 1. Основные технические характеристики ДМТ 518-1

Параметры	Значения
Канал измерения №1
Диапазон измеряемых частот	от 9 кГц до 3 ГГц с открытым входом
Погрешность определения частоты, не более	15 Гц в полосе обзора 1 кГц 1,2 кГц в полосе обзора 100 кГц 12 кГц в полосе обзора 1 МГц
Разрешение BW диапазона	от 1 Гц до 3 МГц (шаг по 10%), 4, 5, 6, 8 МГц
Полоса анализа, МГц	10
Максимальный динамический диапазон, дБ	110
Средний уровень собственных шумов при 0 значении свиппирования и полосе пропускания 1 Гц, не более, дБм	минус 155
Максимальная измеряемая мощность сигнала, не более, дБм	плюс 25
Неравномерность амплитудно–частотной характеристики, дБ, не более:	± 2,0
Канал №1 и №2 воспроизведения/измерения напряжения постоянного тока
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока	от 1 мВ до 210 В
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ	± (0,64 ÷ 64,0)
Диапазоны воспроизведения силы постоянного тока.	от 1 нА до 1 А
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения силы постоянного тока	± (0,95 нА ÷ 3,6 мА)
Диапазон измерений напряжения постоянного тока	от 1 мВ до 210 В
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ	± (0,32 ÷ 50)
Диапазон измерений силы постоянного тока	от 1 нА до 1 А
Пределы допускаемой погрешности измерений силы постоянного тока	± (0,59 нА ÷ 2,77 мА)
Диапазон измерений сопротивлений постоянному току	от 0,01 мОм до 200 Мом
Пределы допускаемой погрешности измерений сопротивлений постоянному току	± (0,39 мОм ÷1,5 МОм)
Канал генерирования №1
Частота генерируемых колебаний	от 250 кГц до 3 ГГц
Шаг установки частоты	0,01 Гц
Погрешность воспроизведения частоты синусоидального сигнала, не более, Гц	fгенерируемая x10-6
Диапазон воспроизводимой мощности синусоидального сигнала, дБм, в диапазоне частот: от 250 кГц до 3,2 ГГц от 3,2 ГГц до 20 ГГц	от минус 130 до 10. от минус 130 до 11
Пределы допускаемой погрешности установки выходной мощности сигнала, дБ: при уровне мощности от 10 дБм до минус 10 дБм в диапазонах частот: от 250 кГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 20 ГГц при уровне мощности от минус 10 дБм до минус 70 дБм в диапазонах частот: от 250 кГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 20 ГГц при уровне мощности от минус 10 дБм до минус 70 дБм в диапазонах частот: от 250 кГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 20 ГГц	±0,6; ±0,8. ±0,7; ±0,9. ±0,8; ±1,0.
КСВн, не более, в диапазоне частот от 250 кГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 20 ГГц	1,4 1,6
Канал генерирования / измерения №2 (векторный анализатор)
Частота генерируемых колебаний	от 45 МГц до 3 ГГц
Шаг установки частоты	0,01 Гц
Погрешность воспроизведения частоты синусоидального сигнала, не более, Гц	fустановленная x10-6
Диапазон мощности синусоидального сигнала, дБм,	от минус 87 до 3 (5 дБм до 12,5 ГГц)
Пределы допускаемой погрешности установки выходной мощности сигнала, дБ:	±1,0.
Диапазон измеряемых частот	от 45 МГц до 3 ГГц
Пределы допускаемой относительной погрешности измерения частоты, не более	±10-5
Максимальная измеряемая мощность, дБм, не менее	20.
Входное сопротивление канала, Ом	50.
Параметры измерения коэффициента отражения (S11, S22)
Пределы допускаемой погрешности определения активной составляющей в диапазонах частот, дБ, не более: от 50 МГц до 500 МГц от 500 МГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 3 ГГц	±0,01; ±0,028; ±0,043.
Пределы допускаемой погрешности определения фазы в диапазонах частот, градус, не более: от 50 МГц до 500 МГц от 500 МГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 3 ГГц	±0,50; ±1,0; ±1,7.
Коэффициент передачи (S12, S21)
Пределы допускаемой погрешности определения активной составляющей в диапазонах частот, дБ, не более: от 50 МГц до 500 МГц от 500 МГц до 2 ГГц от 2 ГГц до 3 ГГц	±0,054; ±0,092; ±0,204.

Внешний вид комплекса ДМТ 219

Комплекс измерительный параметров аналоговых микросхем и устройств ДМТ–219 (далее – комплекс) предназначен для формирования сигналов синусоидальной и произвольной формы, и измерений характеристик этих сигналов, прошедших через измеряемое устройство.

Основные технические характеристики приведены в таблице 2

Таблица 2. Основные технические характеристики ДМТ 219.

Параметры	Значения
Генератор 1
Количество каналов	2
Диапазон рабочих частот	от 0,01 Гц до 80 МГц
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения частоты, %	± 0,001
Диапазон воспроизведения амплитуды сигналов: выходное сопротивление 50 Ом выходное сопротивление 1 Мом	от 10 мВ до 10 В от 20 мВ до 20 В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения амплитуды сигналов (Uв): при уровне сигнала от 10 мВ до 19 В при уровне сигнала более 19 В	± (0,005∙Uв + 10 мВ) ± 0,025 Uв
Диапазон воспроизведения напряжения смещения постоянного тока (Uсм), В	± 10
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения смещения постоянного тока: при уровне менее 9,5 В при уровне равном и более 9,5 В	± (0,005∙Uсм + 10 мВ) ± 0,025∙Uсм
Генератор низкочастотный
Диапазон рабочих частот	от 0,001 Гц до 200 кГц
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения частоты (F)	± (25∙10-5∙F + 4 мГц)
Уровень гармонических составляющих воспроизводимого сигнала, дБ, не более	минус 98
Диапазон амплитуд воспроизводимых сигналов (U): однополярный выход: выходное сопротивление 50 Ом выходное сопротивление 1 МОм балансный выход: выходное сопротивление 50 Ом выходное сопротивление 1 Мом	от 5 мкВ до 14,4 В от 10 мкВ до 40,0 В от 10 мкВ до 28,8 В от 20 мкВ до 80,0 В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения амплитуды сигнала	± (0,01∙U + 2 мкВ)
Диапазон воспроизведения напряжения смещения постоянного тока (Uсм), В	± 10
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения смещения постоянного тока	± (0,01∙Uсм + 2 мкВ)
Генератор СВЧ
Диапазон рабочих частот	от 250 кГц до 3 ГГц
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения частоты, %	± 1 10-4
Диапазон мощности воспроизводимого сигнала, дБм	от минус 120 до 10
Пределы допускаемой погрешности воспроизводимой мощности сигнала, дБ: при уровне мощности от 10 до минус 50 дБм в диапазоне частот: от 250 кГц до 2 ГГц от 2 до 3 ГГц при уровне мощности от минус 50 до минус 120 дБм в диапазоне частот: от 250 кГц до 2 ГГц от 2 до 3 ГГц	± 0,5 ± 0,6 ± 1,5 ± 2,5
Уровень гармонических составляющих воспроизводимого сигнала, дБ, не более	минус 30
Виды модуляции воспроизводимого сигнала	АМ, ЧМ, ФМ, ИМ
Диапазон воспроизведения коэффициента амплитудной модуляции (Кам), %	от 0 до 100
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения Кам, %	± 0,5
Диапазон воспроизведения девиации частоты в диапазоне частот, МГц, не менее: от 10 МГц до 1 ГГц от 1 до 2 ГГц от 2 до 3 ГГц	1,0 2,0 4,0
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения девиации частоты, %	± 0,5
Диапазон воспроизведения девиации фазы в диапазоне частот, рад., не менее: от 10 МГц до 1 ГГц от 1 до 2 ГГц от 2 до 3 ГГц	10,0 20,0 40,0
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения девиации фазы, %	± 0,5
Длительность импульса импульсной модуляция, мкс, не менее	4,0
Период следования импульса импульсной модуляция, мкс, не менее	8,0
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения длительности импульса, %: при длительности импульса менее 1 мс при длительности импульса равном и более 1 мс	± 2,5 ± 1
Пределы допускаемой относительной погрешности установки периода следования импульса, %: при периоде следования импульса менее 10 мс при периоде следования импульса равном и более 10 мс	± 1 ± 0,5
Время нарастания фронта/спада импульсов, нс, не более: при периоде следования импульса: менее 1 мс равном и более 1 мс и менее 10 мс равном и более 10 мс	150 1500 15000
Генератор тактовых импульсов и сигналов прямоугольной формы
Диапазон рабочих частот	от 1 Гц до 2 ГГц
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения частоты, %	± 1∙10-4
Номинальные значения амплитуды воспроизводимого прямоугольного сигнала в диапазоне частот от 1 Гц до 250 МГц (выход CMOS), В	1,2; 1,8; 2,5; 3,3; 5
Диапазон амплитуды воспроизводимого прямоугольного сигнала в диапазоне частот от 1 Гц до 2 ГГц парафазный выход (Q и Ō)	от 100 мВ до 1 В
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения амплитуды сигнала (Uп): на выходе CMOS на выходе Q и Ō	± (2∙10-2 Uп + 20 мВ) ± (1∙10-2 Uп + 10 мВ)
Канал формирования аналогового сигнала
Количество дифференциальных каналов преобразования цифрового кода в напряжение	2
Количество разрядов кода преобразования, бит	16
Диапазон изменения значений выходного сигнала, В	от минус 11,1 до 11,1 В
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения выходного сигнала, не более, %	± 1,0
Пределы допускаемой нелинейности функции преобразования (интегральная нелинейность преобразования), не более %	± 0,003(или 2 или 5)
Время установления выходного сигнала до момента вхождения выходного аналогового сигнала в зону установления равную 5% от установленного значения, не более, мкс	5,0
Калибратор/мультиметр модели 2420
Диапазон воспроизводимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В	от 0,001 до 60
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения/измерений напряжения постоянного тока (Uо): на пределе 200 мВ и 2 В на пределе 20 В на пределе 60 В	± (2∙10-4 Uо + 0,6 мВ) ± (2∙10-4 Uо + 2,4 мВ) ± (2∙10-4 Uо + 7,2 мВ)
Диапазон воспроизводимой/измеряемой силы постоянного тока	от 1 мкА до 3 А
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения/измерений силы постоянного тока (I): на пределе 1, 10, 100 мкА, 1, 10, 100 мА на пределе 1 А на пределе 3 А	± 0,001∙I ± (0,001∙I+ 900 мкА) ± (0,001∙I + 2,7 мА)
Максимальная мощность, Вт	60
Диапазон измерений электрического сопротивления	от 100 мОм до 200 МОм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений электрического сопротивления: на пределе 20 Ом на пределе 200 Ом на пределе 2 кОм на пределе 20 кОм на пределе 200 кОм на пределе 2 МОм на пределе 20 МОм на пределе 200 Мом	± 23 мОм ± 170 мОм ± 1,70 Ом ± 15,0 Ом ± 170 Ом ± 2,50 кОм ± 23,0 кОм ± 670 кОм
Анализатор спектра
Диапазон рабочих частот	от 100 Гц до 3 ГГц
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений частоты	± 1∙10-3
Неравномерность амплитудно-частотной характеристики (АЧХ), дБ: в диапазоне частот от 100 Гц до 10 МГц в диапазоне частот от 10 МГц до 3 ГГц	± 3,0 ± 2,5
Максимальная измеряемая мощность, не более	30 дБм (1 Вт)
Пределы допускаемой погрешности измерений мощности, дБ	± 1
Мультиметр
Диапазон измерений напряжения постоянного тока	от 100 мкВ до 1000 В
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока, %: на пределе 100 мВ на пределе 1, 10, 100, 1000 В	± 8,0∙10-3 ± 4,0∙10-3
Диапазон измерений напряжения переменного тока (среднеквадратичного значения)	от 1 мВ до 750 В
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения переменного тока, %: в диапазоне частот от 3 до 10 Гц в диапазоне частот от более 10 Гц до 20 кГц в диапазоне частот от более 20 до 100 кГц в диапазоне частот от более 100 до 300 кГц	± 1,1 ± 0,1 ± 0,65 ± 4,5
Диапазон измерений силы постоянного тока	от 1 мкА до 3 А
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока, %: на пределах 10 и 100 мА на пределе 1 А на пределе 3 А	± 0,015 ± 0,04 ± 0,1
Диапазон измерений силы переменного тока (среднеквадратичного значения)	от 100 мкА до 3 А
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы переменного тока, %: в диапазоне частот от 3 Гц до 10 Гц: на пределе 1 А на пределе 3 А в диапазоне частот от более 10 Гц до 5 кГц: на пределе 1 А на пределе 3 А	± 1 ± 3,5 ± 0,15 ± 0,65
Диапазон измерений электрического сопротивления	от 1 мОм до 100 МОм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений электрического сопротивления: на пределе 100 Ом на пределе 1 кОм на пределе 10 кОм на пределе 100 кОм на пределе 1 МОм на пределе 10 МОм на пределе 100 Мом	± 4 мОм ± 20 мОм ± 200 мОм ± 2 Ом ± 30 Ом ± 1 кОм ± 150 кОм
Диапазон измерений частоты сигналов	от 3 Гц до 300 кГц
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений частоты сигналов, %: в диапазонах частот от 3 до 10 Гц и от 50 до 100 кГц в диапазоне частот от 10 Гц до 50 кГц в диапазоне частот от 100 до 300 кГц	± 0,5 ± 0,1 ± 1,5
4-х канальный дигитайзер
Диапазон рабочих частот	от 10 Гц до 50 МГц
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений частоты, %	± 0,1
Неравномерность АЧХ в диапазоне частот от 10 Гц до 50 МГц, дБ	± 3
Диапазон измерений напряжения постоянного и переменного тока: при входном сопротивлении 50 Ом при входном сопротивлении 1 Мом	от 25 мВ до 5 В от 25 мВ до 25 В
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного и переменного тока, %	± 0,5
Осциллограф
Полоса пропускания	от 0,01 Гц до 1 ГГц
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений частоты, %	± 0,1
Неравномерность АЧХ в диапазоне частот от 0,01 Гц до 1 ГГц, дБ	± 3 дБ
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений периода сигнала, %	± 0,1
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений длительности импульса, %	± 1,0
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений времени нарастания фронта/спада импульса, %	± 1,0
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений амплитуды сигнала, %	± 5,0
Диапазон значений коэффициента развертки по вертикали	от 2 мВ/дел до 5 В/дел
Диапазон значений коэффициента развертки по горизонтали	от 500 пс/дел до 50 с/дел
Максимальное входное напряжение, В: среднеквадратичное значение пиковое значение	300 400
Анализатор логических уровней осциллографа
Диапазон задания порогового напряжения, В	± 8
Пределы допускаемой абсолютной погрешности задания порогового напряжения, мВ: в диапазоне от минус 8 минус 2 и от 5 до 8 В от минус 2 до 5 В	± 400 ± 200

Внешний вид Аппаратно программного комплекса для исследования электрических характеристик ИМС в диапазоне температур от -60 С до +180 С

Аппаратно программный комплекс для исследования электрических характеристик ИМС в диапазоне температур от -60 С до +180 С.

Основные технические характеристики приведены в таблице 3

Таблица 3. Основные технические характеристики аппаратно программного комплекса для исследования электрических характеристик ИМС в диапазоне температур от -60 С до +180 С.

Параметры	Значения
Мультиплексор
Максимальное входное напряжение на канал, В	+/-300
Погрешность измерения напряжения, %	0,06
Количество каналов	80
Максимальный входной ток на канал, А	1
Максимальное напряжение смещения, мкВ	не более 3
Сопротивление канала в замкнутом состоянии, Ом	не более 1,5
Максимальная частота переменного напряжения,МГц	45
Входная емкость измерителя, пФ	150
Скорость переключения каналов, каналов/сек	100

Коммутационная матрица
Количество каналов/конфигурация	4×16/сдвоенная
Максимальное входное напряжение на канал, В	+/-300
Максимальный входной ток на канал, А	1
Максимальное напряжение смещения, мкВ	не более 3
Полоса пропускания, МГц	30
Входная емкость, пФ	80

64-разрядный модуль ввода/вывода цифровых сигналов
Количество цифровых входов/выходов, шт.	64
Диапазон входных напряжений, В	0…5
Диапазон выходных напряжений, В	0……5
Максимальный выходной ток, мА	24
Максимальная частота, МГц	10

Изолированный ЦАП
Максимальное выходное напряжение, В	+/-16
Разрешение, разрядов/мкВ	16/500
Выходное сопротивление, Ом	не более 1
Максимальный выходной ток, мА	+/-20мА
Количество каналов, шт	4

Источник питания
Количество каналов, шт	4
Максимальное выходное напряжение, В	50
Максимальный выходной ток, А	5
Точность программирования, %	0,6%+19мВ
Камера тепла/холода
Минимальная температура, 0С	-65
Максимальная температура, 0С	+180
Скорость изменения температуры, 0С/мин	3
Точность поддержания температуры, 0С	+/-0,5

Все приборы входящие в комплекс управляются средой VeePro, это делает возможным проводить исследования с минимальным участием оператора.