Высоковакуумная низкотемпературная система для исследования нанорельефа, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами АСМ/СТМ/МСТ

Российская Федерация

ТД «Научное Оборудование»

PlasmoScope-2M

2015

Дифрактометр многофункциональный

Япония

Rigaku

SmartLab

2014

Система по изучению магнитооптического эффекта Керра

Япония

Neoark

BH-PI7892-KI

2014

Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр

Германия

IonTOF

TOF SIMS 5-100

2012

Профилометр

Соединённые Штаты Америки

KLA-Tencor

Alpha-Step D120

2012

Установка для ионного травления и полировки

Соединённые Штаты Америки

Fischione Instruments

Model 1060 SEM Mill

2012

Оже-микрозонд

Соединённые Штаты Америки

Physical Electronics

PHI-670xi

2012

Установка измерения поверхностного сопротивления

Соединённые Штаты Америки

Lucas Labs

QuadPRO

2010

Лазерный конфокальный микроскоп

Япония

Lasertech

VL 2000 DХ

2008

Установка для акустических исследований объемных структур

Германия

KSI Sonic Industries GmbH

KSI v-350lm

2012

Полуавтоматическая зондовая установка

Соединённые Штаты Америки

Cascade Microtech

Summit 12K

2011

Микроскоп сканирующий

Соединённые Штаты Америки

KLA-Tencor

INM100

2007

Зондовая установка для анализа пластин и подложек до 150 мм

Соединённые Штаты Америки

Cascade Microtech

PM5 Probe System

2010

Система для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа

Германия

Xenos

XeDraw 2

2011

Термический столик для проведения экспериментов при пониженных и повышенных температурах для растрового электронного микроскопа

Великобритания

Deben

MK3 COOLSTAGE

2011

Энергодисперсионный спектрометр

Великобритания

Oxford Instruments

INCA Energy 350 X-Max20

2011

Растровый электронный микроскоп

Япония

JEOL

JSM-6490LV

2008

Спектральный эллипсометр

Франция

HORIBA Jobin Ivon

AutoSe System

2009

Атомно-силовой микроскоп

Россия

AIST-NT

SmartSPM

2009

Технологический комплекс групповой сборки кристаллов и соединения пластин

Германия

Suss Microtech

Substrate bonder SB6

2007

Технологический комплекс напыления тонких пленок металлов

Соединённые Штаты Америки

SEGI

SEGI-RFA3-4TR

2008

Технологический комплекс плазменного, реактивно-ионного травления кремния и обработки материалов

Соединённые Штаты Америки

STS

STS

2008

Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов

Чехия

SVCS

SVFUR-LH4

2007

Технологический комплекс термических процессов (диффузия и окисление)

Чехия

SVCS

SVFUR-AH4

2007

Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля

Австрия

EVG

EVG 150

2007

Технологический комплекс жидкостного травления и химической обработки кремния

Чехия

SCR

Mercury style

2007