Зондовые методы исследования наноразмерных структур

Описание курса

Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются определение их размеров, поскольку существенно могут измениться их свойства. Зондовые методы, включающие сканирующую микроскопию (СТМ) и атомно-силовую микроскопию (АСМ) являются адекватными и перспективными для исследования нанобъектов на подложках. Курс Зондовые методы исследования наноразмерных структур предназначен для студентов старших курсов технических вузов и выпускников этих вузов, желающих освоить новые методы исследования нанострутур, которые необходимы, прежде всего, в электронике. Однако зондовые методы имеют общедисциплинарное значение и используются в материаловедении, биологии и медицине. Для освоения курса необходимы знания общей физики и основ квантовой механики.