Учебно-методическое обеспечение

Учебно-методические комплексы дисциплин по тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника»
Введение в механику наноразмерных структур
Зондовые методы исследования наноразмерных структур
Зондовые методы создания структур наноэлектроники
Зондовые методы создания структур наноэлектроники (бакалавры)
Металлизация в системах с наноразмерными элементами
Металлизация в системах с наноразмерными элементами (бакалавры)
Методы анализа поверхностных наноразмерных структур
Методы измерений параметров наноматериалов и наноструктур в технологии производства СБИС и сверхбыстродействующих ИС
Моделирование наноразмерных интегральных структур и технологических процессов в программной среде TCAD
Наноэлектронные системы на основе арсенида галлия
Наноэлектронные устройства и их модели
Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем (НПНЭ)
Основы топологического проектирования приборов и систем наноэлектроники
Особенности синтеза цифровых устройств с нанометровыми технологическими нормами
Перспективные направления наноэлектроники
Плазменные технологии в наноэлектроники (ПТНЭ)
Применение низкотемпературной газовой плазмы в технологии микро- и наноэлектроники
Проектирование элементов наносистемной техники
Современные проблемы технологии наноэлектроники
Современные технологии проектирования элементов и устройств наноэлектроники
Технологические проблемы формирования контактной металлизации в СБИС с нанометровыми размерами элементов
Технология наноэлектронных систем
Физика и химия поверхности
Физика конденсированного состояния (ФКС)
Физика низкоразмерных структур
Физико-химия наноструктурированных материалов
Экспериментальные методы исследования и основы метрологии нанообъектов
Элементы твердотельной наноэлектроники (ЭТНЭ)