Методы измерений параметров наноматериалов и наноструктур в технологии производства СБИС и сверхбыстродействующих ИС

Описание курса

Маршрут дополнительной подготовки «Методы измерений параметров наноматариалов и наноструктур в технологии производства СБИС и сверхбыстродействующих ИС» по общему тематическому направлению «Нанотехнология» основан на базе курса «Методы исследования наноструктур и наноматериаллов». В состав маршрута входят следующие разделы. Курс лекций, состоящий из введения и шести лекций по методам измерений параметров наноматериалов и наноструктур.