Металлизация в системах с наноразмерными элементами

Описание курса

Дисциплина «Металлизация в системах с наноразмерными элементами» относится к вариативной части цикла профессиональных дисциплин, к дисциплинам по выбору студента. Примерным учебным планом и примерной рабочей программой предусмотрены аудиторные лекционные занятия, а также организация самостоятельной работы студентов. Для успешного изучения курса «Металлизация в системах с наноразмерными элементами» студент должен владеть знаниями и умениями, которые формируются дисциплинами «Общая физика», «Общая химия», «Физическая химия», с основами физики твердого тела, физики полупроводников, органической химии, материаловедения и кристаллографии. Целью дисциплины "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" является изучение, практическое освоение знаний и приобретение умений по технологии изготовления и выбору материалов многослойной многоуровневой металлизации СБИС с нанометровыми технологическими нормами. Задачи дисциплины: - изучение конструктивных элементов системы многоуровневой металлизации СБИС; - изучение основных технологических процессов создания функциональных элементов системы многоуровневой металлизации СБИС; - изучение состава оборудования для проведения процессов создания металлизации; - изучение основных методологических подходов к формированию межсоединений и других сопряженных слоев, обеспечивающих функционирование проводников; - освоение физико-технологических критериев выбора материалов слоев металлизации различного функционального назначения в условиях уменьшения размеров элементов интегральных схем; - эффективное усвоение этих знаний за счет использования лабораторно-практических интерактивных методов обучения студентов. В результате освоения дисциплины студент должен знать: основные конструктивные элементы систем многоуровневой металлизации; основные технологические процессы формирования функциональных слоев систем многоуровневой металлизации; конструкции технологического оборудования и методы формирования функциональных слоев систем многоуровневой металлизации. В результате изучения дисциплины студент должен: Знать: - тенденции и перспективы развития многослойных систем металлизации СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона; - принципы построения многослойных систем межсоединений СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона; - передовой отечественный и зарубежный научный опыт в области процессов формирования термостабильных систем металлизации СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона; Уметь: - обосновывать выбор новых материалов функциональных слоев многослойной системы металлизации СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона в соответствие с имеемым в наличии термическим бюджетом; - прогнозировать термическую стабильность функциональных слоев многослойной системы металлизации СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона; - разрабатывать технологические маршруты изготовления системы межсоединений СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона. Владеть: - методами физико-химического моделирования процессов взаимодействия в микрогетерогенных твердофазных контактирующих системах. - основными методами формирования слоев межсоединений СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона; - основными методами контроля параметров слоев межсоединений СБИС с проектными нормами нанометрового диапазона.