Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем (НПНЭ)

Авторы:

Гаврилов Сергей Александрович, д.т.н., профессор
Белов Алексей Николаевич, к.т.н.
Железнякова Анастасия Вячеславовна, к.т.н

Описание курса

Дисциплина «Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники» относится к вариативной части цикла профессиональных дисциплин, к дисциплинам по выбору студента. Примерным учебным планом и примерной программой дисциплины предусмотрены аудиторные занятия (лекции, лабораторные занятия), а также организация самостоятельной работы студентов.

В учебной дисциплине «Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники» рассмотрены электрохимические и химические процессы модифицирования поверхности и нанесения покрытий в технологии создания наноструктур. Эти процессы характеризуются относительной простотой реализации и гибкостью, совместимостью их с базовыми процессами производства микро- и наноэлектромеханических систем (МНЭМС), а также технологии наноструктур. Важным аспектом таких процессов является низкая (менее 100^ОС) температура их протекания. Характерные размеры отдельных элементов, получаемых методами рассматриваемыми в настоящем курсе названных структур лежат в диапазоне 10-200 нм. Также большое внимание уделено влиянию размеров отдельных кристаллов, составляющих наноструктурированный материал, на его физико-химические и физические свойства, что открывает возможность создания приборов и структур с новыми функциональными характеристиками.

Учебный курс направлен на подготовку специалистов, обладающих знаниями фундаментальной электрохимии и химии, навыками электрохимического и химического формирования нанопористых и нанокристаллических структур, элементов микро- и наносистемной техники, а также сверхтонких полупроводниковых пленок и покрытий.

Цель данного учебного курса – в доступной для студентов форме изложить теоретические и практические основы применения химических и электрохимических процессов в технологии создания наноструктур. Изложение построено по схеме, включающей раскрытие особенностей химической и электрохимической обработки материалов с позиций основ электрохимической термодинамики и кинетики с последующим детальным описанием подходов к созданию отдельных функциональных элементов.