Металлизация в системах с наноразмерными элементами (бакалавры)

Описание курса

Дисциплина «Металлизация в системах с наноразмерными элементами» относится к вариативной части цикла профессиональных дисциплин, к дисциплинам по выбору. Примерным учебным планом и примерной программой дисциплины предусмотрены аудиторные лекционные занятия, а также самостоятельная работа студентов. Основная цель дисциплины - получение знаний об особенностях конструктивного - технологического исполнения элементов металлизации УБИС с наноразмерными элементами. Задачи дисциплины: - анализ современных конструкций систем металлизации УБИС; - ознакомление с электрофизическими параметрами элементов металлизации и основными методами их определения; - изучение методов управления электрофизическими параметрами элементов металлизации; - изучение особенностей конструктивно-технологической реализации составляющих систем металлизации УБИС с наноразмерными элементами.