Технологические проблемы формирования контактной металлизации в СБИС с нанометровыми размерами элементов
| Авторы: | д.т.н., проф. Шевяков Василий Иванович
|
Описание курса
Учебная дисциплина имеет своей целью подготовку бакалавров, обладающих
научно-практической базой для осознанного и целенаправленного использования знаний в области физико- технологических особенностей создания металлизации при реализации приборов и устройств микро- и наноэлектроники. Основные тематические разделы учебного курса посвящены изучению конструктивно – технологическим методам создания элементов металлизации. Особое внимание уделено приемам формирования металлизации систем с нанометровыми размерами. План проведения занятий составлен таким образом, что основные теоретические сведения (законы, модели, теории) дополняются результатами экспериментальных исследований и закрепляются на практике посредством выполнения лабораторных работ.
