МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта
Авторизация
Центр коллективного пользования «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов» (ЦКП ДММН)  
Руководитель: д.ф.-м.н., профессор Николай Иванович Боргардт
Телефон: (499) 720-87-65, внутренний телефон: 29-65
E-mail: lemi@miee.ru
Аудитория: 7109

Сведения об оборудовании и методиках ЦКП «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов» представлены в базе данных «Современная исследовательская инфраструктура Российской Федерации» (http://www.ckp-rf.ru)

Перечень оказываемых услуг включает:

  1. Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава и модификацией микро- и наноструктур, интегральных микросхем на растровом электронно-ионном микроскопе высокого разрешения, в том числе получение поперечных сечений с использованием фокусированного ионного пучка.
  2. Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава микроструктур и нанообъектов, интегральных микросхем методами растровой электронной микроскопии.
  3. Проведение анализа структуры, измерение геометрических размеров материалов нанообъектов и интегральных микросхем методами просвечивающей электронной микроскопии, включая приготовление образцов с применением фокусированного ионного пучка.
  4. Проведение комплексного анализа структуры интегральных микросхем.
Посмотреть презентацию ЦКП ДММН (*.pdf).