Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  

Центр коллективного пользования «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов» (ЦКП ДММН)

Руководитель: д.ф.-м.н., профессор Николай Иванович Боргардт
Телефон:(499) 720-87-65, Внутренний телефон:29-65
Аудитория:7109

Сведения об оборудовании и методиках ЦКП «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов» представлены в базе данных «Современная исследовательская инфраструктура Российской Федерации» (http://www.ckp-rf.ru)

Перечень оказываемых услуг включает:

  1. Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава и модификацией микро- и наноструктур, интегральных микросхем на растровом электронно-ионном микроскопе высокого разрешения, в том числе получение поперечных сечений с использованием фокусированного ионного пучка.
  2. Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава микроструктур и нанообъектов, интегральных микросхем методами растровой электронной микроскопии.
  3. Проведение анализа структуры, измерение геометрических размеров материалов нанообъектов и интегральных микросхем методами просвечивающей электронной микроскопии, включая приготовление образцов с применением фокусированного ионного пучка.
  4. Проведение комплексного анализа структуры интегральных микросхем.
Посмотреть презентацию ЦКП ДММН (*.pdf).