Сведения об оборудовании и методиках ЦКП «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов» представлены в базе данных «Современная исследовательская инфраструктура Российской Федерации» (http://www.ckp-rf.ru)

Перечень оказываемых услуг включает:

1. Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава и модификацией микро- и наноструктур, интегральных микросхем на растровом электронно-ионном микроскопе высокого разрешения, в том числе получение поперечных сечений с использованием фокусированного ионного пучка.
2. Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава микроструктур и нанообъектов, интегральных микросхем методами растровой электронной микроскопии.
3. Проведение анализа структуры, измерение геометрических размеров материалов нанообъектов и интегральных микросхем методами просвечивающей электронной микроскопии, включая приготовление образцов с применением фокусированного ионного пучка.
4. Проведение комплексного анализа структуры интегральных микросхем.