Кафедра создана в 2000 г. совместно с АО НИИТМ и занимается исследованиями и разработками в области создания технологического оборудования микроэлектроники, включая разработку методов и систем автоматизации технологических процессов.

Тематики выпускных квалификационных работ:

• разработка устройства для автоматизированной очистки кислот;

• разработка системы управления плазмохимическим оборудованием;

• разработка системы управления диффузионным оборудованием;

• исследование режимов проведения технологических процессов

• разработка алгоритмов, программ и систем управления;

• разработка интерфейса и программного модуля управления установкой магнетронного напыления.