Изначально кафедра была создана совместно с АО НИИТМ в 2000 году и называлась «Базовая кафедра автоматизации технологического оборудования». В 2024 году произошла её реструктуризация, в ходе которой она получила новое название «Конструирование и автоматизация специального технологического оборудования микроэлектроники» и стала относиться к Передовой инженерной школе «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы» (ПИШ МИЭТ). Кафедра занимается исследованиями и разработками в области создания специального технологического оборудования микроэлектроники, включая конструирование, а также разработку методов и систем автоматизации технологических процессов.

Базовая кафедра принимает участие в обеспечении учебного процесса по укрупненным группам направлений подготовки:

• 11.00.00 Электроника, радиотехника и системы связи
• 09.00.00 Информатика и вычислительная техника
• 27.00.00 Управление в технических системах