Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  

Центр коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонетная база» (ЦКП МСТиЭКБ)

Директор: к.ф.-м.н. Николай Алексеевич Дюжев
Телефон:(499) 720-69-08

Двулучевая система высокого разрешения Quanta

США

FEI

Quanta 3D FEG

2008

Энергодисперсионный спектрометр с модульной системой дифракции обратнорассеянных электронов

Германия

BRUKER Nano

Qantax X FLASH 6 130

2013

Высоковакуумная низкотемпературная система для исследования нанорельефа, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами АСМ/СТМ/МСТ

Россия

ПРОТОН-МИЭТ

PlasmoScope-2M

2015

Сканирующий спектральный эллипсометр

Франция

Horiba

Uvisel 2

2015

Система плазменного реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона

Франция

CORIAL

Corial 300S

2015

Дифрактометр многофункциональный

Япония

Rigaku

SmartLab

2014

Система по изучению магнитооптического эффекта Керра

Япония

Neoark

BH-PI7892-KI

2014

Программно-аппаратный комплекс

Белоруссия

ДМТ-Электроникс

ДМТ-518

2010

Проходная камера

Германия

Multitest Elektronische System GmbH

CK-581

2010

Установка тестирования микросистем

США

Teradyne Inc.

UltraFlex

2007

Профилометр

США

KLA-Tencor

Alpha-Step D120

2012

Установка для ионного травления и полировки

США

Fischione Instruments

Model 1060 SEM Mill

2012

Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр

Германия

IonTOF

TOFSIMS-5-100

2012

Оже-микрозонд

США

Physical Electronics

PHI-670xi

2012

Установка измерения поверхностного сопротивления

США

Lucas Labs

QuadPRO

2010

Лазерный конфокальный микроскоп

Япония

Lasertech

VL 2000 DХ

2008

Установка для акустических исследований объемных структур

Германия

KSI Sonic Industries GmbH

KSI v-350lm

2012

Полуавтоматическая зондовая установка

США

Cascade Microtech

Summit 12K

2011

Комплекс для измерения и контроля параметров высокочастотных интегральных микросхем и устройств

Белоруссия

ДМТ-Электроникс

ДМТ-518

2010

Комплекс измерительный параметров аналоговых микросхем и устройств

Белоруссия

ДМТ-Электроникс

ДМТ-219

2010

Микроскоп сканирующий

Белоруссия

УП "КБТЭМ-СО"

Микро 2001-01

2009

Микроскоп сканирующий

США

KLA-Tencor

INM100

2007

Установка тестирования однокристальных микросистем (SoC)

США

Teradyne Inc.

UltraFlex

2007

Зондовая установка для тестирования микросистем в составе пластин

Япония

TOKYO SEIMITSU CO., LTD

UF200A

2007

Система обрезки и формовки выводов

США

Fancort Industries, Inc.

5000L-F-3A-F-1A/4

2007

Рентгеноскопическая цифровая система контроля микросхем с функцией томографии

Великобритания

DAGE Precision Industries Ltd.

XD7600NT

2007

Камера климатическая программируемая

Япония

Espeс

MC-811P

2007

Установка контроля акустических шумов

США

BW

LPD-D4000

2004

Установка контроля герметичности с камерой опрессовки в гелии

Великобритания

Pyramid Engineering Systems Ltd.

HLT 560

2007

Линия герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки с вакуумной печью и возможностью корпусирования в гелиевой среде

Великобритания

Pyramid Engineering Systems Ltd.

HPS 9206М

2007

Установка формирования шариковых выводов с возможностью термо- и ультразвуковой сварки выводов многоуровневых корпусов

Германия

F&K Delvotec GmbH

5310

2007

Установка УЗ-сварки выводов многоуровневых корпусов с системой механического контроля качества

Германия

F&K Delvotec GmbH

5432

2007

Установка тестирования и УЗ-сварки (полуавтомат)

Германия

F&K Delvotec GmbH

56ХХ

2007

Автомат разварки выводов

Германия

FK

64000 G5

2005

Сухожаровой термошкаф

Великобритания

Carbolite

CR-30

2007

Установка монтажа кристаллов с возможностью эвтектической пайки

Франция

Cefor Ingenierie

PP5/2

2007

Установка монтажа кристаллов методом Flip-chip с возможностью эвтектической пайки

Франция

Cefor Ingenierie

PP5/4

2007

Установка плазменной очистки

США

Yield Engeniering System, Inc.

YES-G500

2007

Вакуумная печь

Германия

ATV Technologie GmbH

SRO-706

2007

Установка отмывки полупроводиковых пластин

Белоруссия

УП "КБТЭМ-СО"

ЭМ-3027

2009

Установка гидрообработки разделенных пластин

Чехия

SCR Engineering s.r.o.

UH 117

2007

Автоматическое устройство разделения пластин на кристаллы

Япония

Disco Abrasive Systems, LTD

DAD3350

2007

Научно-исследовательский программно-технический комплекс для испытаний электронных компонентов энергосберегающих систем

Россия

МИЭТ (Зеленоград)


2012

Камера тепла и холода

Германия

CTS GmbH

CTS 200

2010

Электродинамический испытательный стенд

США

578568

AVEX SM 105-MP

2010

Стенд создания вибрационного воздействия

Япония

IMV Corporation

i210/SA1M

2010

Стенд поверки датчиков давления и манометров

Россия

ЗАО "ПГ Метран" (Челябинск)

СПДМ-КОН

2010

Установка для поверки счетчиков газа бытовых и расходомеров газа типа БМПС-Г

Россия

ООО “Измеритель” (Казань)

УП ГСБР-6

2010

Установка расходомерная массовая

Россия

ЗАО "НПФ Теплоком" (Санкт-Петербург)

УРМ ТЕПЛОКОМ-50-0,1/0,05

2010

Электронно-лучевой генератор изображения

Германия

Vistec

SB 350 B

2009

Метрологическая станция контроля точности совмещения фотошаблонов

США

KLA-Tencor

IPRO

2010

Лазерный генератор изображений

Белоруссия

УП "КБТЭМ-ОМО"

ЭМ-5189

2007

Установка лазерной ретуши

Белоруссия

УП "КБТЭМ-ОМО"

ЭМ-5001Б

2006

Установка автоматического контроля топологии на фотошаблонах

Белоруссия

УП "КБТЭМ-ОМО"

ЭМ-6029

2006

Установка монтажа пелликлов

США

MLI

8002

2005

Установка финишной отмывки

Германия

Hamatech

ASC-5500

2009

Установка термодубления

Германия

Hamatech

Hot-plate

2009

Установка химической обработки

Германия

Hamatech

HMP-90

2006

Микроскоп сканирующий

Германия

Leica Geosystems AG

LWM-250UV

2006

Программно-аппаратный комплекс для проведения процессов с фотошаблонами размером 7 дюймов

Германия

Vistec

7012

2011

Установка автоматического контроля топологии на фотошаблонах

Белоруссия

УП "КБТЭМ-ОМО"

ЭМ-6329

2010

Зондовая установка для анализа пластин и подложек до 150 мм

США

Cascade Microtech

PM5 Probe System

2010

Система для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа

Германия

Xenos

XeDraw 2

2011

Термический столик для проведения экспериментов при пониженных и повышенных температурах для растрового электронного микроскопа

Великобритания

Deben

MK3 COOLSTAGE

2011

Энергодисперсионный спектрометр

Великобритания

Oxford Instruments

INCA Energy 350 X-Max20

2011

Растровый электронный микроскоп

Япония

JEOL

JSM-6490LV

2008

Спектральный эллипсометр

Франция

HORIBA Jobin Ivon

AutoSe System

2009

Атомно-силовой микроскоп

Россия

AIST-NT

SmartSPM

2009

Установка масс-спектрометрического контроля содержания паров воды внутри корпусов микросхем

Россия

ОАО "НИИПМ"

УКСП ШЦМ2.718.028

2011

Установка для проведения операции электротермотренировки микросхем

Россия

ОАО "НИИПМ"

УЭТТ ЩЦМ2.757.005

2011

Установка атомно-слоевого осаждения

Финляндия

Picosun

Sunale R-200

2011

Технологический комплекс групповой сборки кристаллов и соединения пластин

Германия

Suss Microtech

Substrate bonder SB6

2007

Технологический комплекс напыления тонких пленок металлов

США

SEGI

SEGI-RFA3-4TR

2008

Технологический комплекс плазменного, реактивно-ионного травления кремния и обработки материалов

США

STS

STS

2008

Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов

Чехия

SVCS

SVFUR-LH4

2007

Технологический комплекс термических процессов (диффузия и окисление)

Чехия

SVCS

SVFUR-AH4

2007

Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля

Австрия

EVG

EVG 150

2005

Технологический комплекс жидкостного травления и химической обработки кремния

Чехия

SCR

Mercury style

2005