+7 (495) 198-00-00 Горячая линия ситуационного центра Минобрнауки
по вопросам поддержки образовательных организаций высшего образования, а также их сотрудников и обучающихся, по вопросам профилактики распространения COVID-19 перейти на сайт МОН
Дюжев Николай Алексеевич кандидат физико-математических наук

Краткая биография

Родился в 1951 году.

1975 год – Выпускник МИЭТа

1986 год – Аспирантура МФТИ. Кандидат физико-математических наук.

С 1975 по 2010 г.г. – Инженер, главный технолог, начальник отдела ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»

С 2010 г. – Директор Научно-технологического центра «Нано- и микросистемной техники» (НТЦ НМСТ)

С 2016 г. – Директор Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база (ЦКП МСТиЭКБ).

Ученый в области разработки изделий нано- и микросистемной техники и нановакуумной наноэлектроники.

Читаемые курсы

  • Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники (ЭН-14М)

Научная деятельность

Автор более 70 научно-технических публикаций.

Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Филиппов Н.А., Евсиков И.Д., Глаголев П.Ю., Махиборода М.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Филиппов С.В., Колосько А.Г., Попов Е.О., Беспалов B.A. Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов //Журнал технической физики. – 2019. – Т. 89. – №. 12. – С. 1836-1842.,

Demin, G. D., Djuzhev, N. A., Filippov, N. A., Glagolev, P. Y., Evsikov, I. D., & Patyukov, N. N. (2019). Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, 37(2), 022903.,

N. A. Djuzhev, G. D. Demin, N. A. Filippov, I. D. Evsikov, P. Yu. Glagolev, M. A. Makhiboroda, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, S. V. Filippov, A. G. Kolosko, E. O. Popov & V. A. Bespalov. Development of Technological Principles for Creating a System of Microfocus X-Ray Tubes Based on Silicon Field Emission Nanocathodes. Tech. Phys. 64, 1742–1748 (2019).,

I. D. Evsikov, N. A. Djuzhev, G. D. Demin, and M. A. Makhiboroda "TCAD-based performance analysis of nanoscale vacuum field-emission transistors at advanced technology nodes", Proc. SPIE 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, 110220O (15 March 2019);

Ovodov, A. I., Demin, G. D., Djuzhev, N. A., & Makhiboroda, M. A. (2019, March). Optimized Design of the MEMS-Based Three-Axis Thermal Accelerometer for Its Better Performance in a Wide Measurement Range. In 2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS) (pp. 1-5). IEEE.

Demin, G. D., Popkov, A. F., Djuzhev, N. A., Zvezdin, K. A., & Popov, A. V. (2019, March). Microwave energy harvester based on the magneto-tunnel Seebeck effect in the nanoscale spin-torque diode. In 2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS) (pp. 1-6). IEEE.,

N. I. Chkhalo, A. Ya. Lopatin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, G. D. Demin, N. A. Dyuzhev, M. A. Makhiboroda, "Maskless nanolithography on the basis of microfocus x-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line," Proc. SPIE 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, 110221M (15 March 2019);

N. A. Djuzhev, R. V. Lapshin, A. M. Belin, A. I. Ovodov, D. V. Novikov, G. D. Demin, "Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometers," Proc. SPIE 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, 110220R (15 March 2019);

Дюжев Н.А.,Киреев В.Ю.Учебное пособие к практическим занятиям по рабочей программе «Проектирование и конструирование наноэлектронных систем на кристалле» учебной дисциплины «Элементный базис нано- и микросистемной техники».-Учебное пособие М.: МИЭТ, 2019, - 140 с.,

Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Глаголев П.Ю.Исследование механической прочности двухслойных мембран SiO2/Si3N4//Наноиндустрия, 2019, № S (89), С. 511–514,

Дюжев Н.А., Рябов В.Т., Новиков Д.В.Automation of the Measurement Process of the Parameters of the Sensitive Elements of the Gas Flow Rate Sensors//Russian Microelectronics, 2019, Vol. 48, Is. 7, pp. 490–495,

Дюжев Н.А., Филиппов С.В., Колоско А.Г., Попов Е.О., Демин Г.Д., Махиборода М.А., Грязнева Т.А., Коротков С.Ю.Investigation of the emission properties of a silicon blade-type cathode//INTERNATIONAL CONFERENCE PHYSICA.SPB/2019, 2019, Vol. 1400, pp. 055011,

Дюжев Н.А.,Демин Г.Д., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Филиппов Н.А., Коротков С.Ю., Глаголев П.Ю., Махиборода М.А. Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии//Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 2019, С. 459–460,

Дюжев Н.А.,Евсиков И.Д.Современное состояние элементной базы вакуумной наноэлектроники//Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 2019, С. 461–462,

Дюжев Н.А.,Гарахин С.А., Лопатин А.Я., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Плешков Р.С., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Демин Г.Д., Махиборода М.А.Эффективность генерации характеристического излучения Be-содержащих мишеней//Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 2019, С. 445–446,

Дюжев Н.А.,Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А., Белова С.Д. Исследование механической прочности мембранной структуры Al/SiO2/Al//Международный форум «Микроэлектроника-2019». 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули". Сборник тезисов, 2019, С. 393–396,

Дюжев Н.А.,Махиборода М.А., Харинцев С.С., А.М. Алексеев, Андрюшин Р.Н., Демин Г.Д., Рындина Т.С. Использование метаматериала Ti и TiON для эффективного поглощения солнечной энергии в гибких солнечных элементах, комбинированных с термоэлектрическим преобразователем//Международный форум «Микроэлектроника-2019». 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули". Сборник тезисов, 2019, С. 399–401,

Дюжев Н.А.,Белова С.Д., Новиков Д.В., Глаголев П.Ю.Усиление термоэлектрических свойств тонкой нанопленки поликристаллического кремния посредством подстройки размера зерна для энергосберегающих применений//Международный форум «Микроэлектроника-2019». 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули". Сборник тезисов, 2019, С. 401–403,

Дюжев Н.А.,Харинцев С.С., Алексеев А.М., Демин Г.Д., Андрюшин Р.Н., Рындина Т.С.A metamaterial based on titanium nitride nanoantennas for efficient absorption of solar energy in flexible solar cells combined with thermoelectric generator//5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book, 2019,

Дюжев Н.А.,Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Новиков Д.В., Андрюшин Р.Ю., Рындина Т.С.Enhancement of thermoelectric properties of a poly-Si thin nanofilm by grain size engineering for energy harvesting applications //5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book, 2019,

Дюжев Н.А.,Чиненков М.Ю., Юров А.С. Influence of the magnetoresistive elements topology on the magnetic MEMS functional characteristics//VII Euro-Arian Symposium "Trend in MAGnetism", 2019, pp. 86-87,

Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Митько С.В., Новиков Д.В., Филиппов Н.А., Махиборода М.А. Atomic force microscopy study of field emission from a single silicon nanotip into a quasi-vacuum (air) medium at the nanoscale// 5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book, 2019,

Дюжев Н.А.,Попов А.В., Демин Г.Д. Magnetoelectric control of the microwave sensitivity of a spin-torque diode based on the magnetic tunnel junction with a ferromagnetic/ferroelectric bilayer by short THz electromagnetic pulse//64th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials (MMM-2019), November 04-08 2019 Las Vegas, Nevada, USA, Abstracts, pp. 549-550,

G.D. Demin, A. Buzdakov, N.A. Djuzhev, V.A. Bespalov, K.A. Zvezdin Development of a spintronic vision system based on spin-torque diodes and its optimization for autonimous driving tasks//64th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials (MMM-2019), November 04-08 2019 Las Vegas, Nevada, USA, Abstracts, pp. 549,

Дюжев Н.А.,Гусев Е.Э., Товарнов Д.А., Дедкова А.А.Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al// Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus 2020, 2020, P. 2299-2302, 9039506,

Дюжев Н.А.,Демин Г.Д., Андрюшин Р.Н., Рындина Т.С., Дедкова А.А., Смирнов А.Ю., Знатков П.Ю.Prospects of Electromagnetic Energy Harvesting In a Combined Structure of Broadband Metamaterial Absorber With a Magnetic Tunnel Junction Having Tunnel Magneto-Seebeck Effect//2019 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS), 2020,

Дюжев Н.А.Демин Г.Д., , Евсиков И.Д., Колоско А.Г., Филиппов С.В., Чумак А.П., Попов Е.О. Features of evaluating properties of field emitters using effective parameters// 2019 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS), 2020,

Дюжев Н.А., Евсиков И.Д., Демин Г.Д., Глаголев П.Ю., Махиборода М.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Колоско А.Г., Попов Е.О. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-ray radiation for the maskless X-ray lithography// 2019 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS), 2020,

Дюжев Н.А., Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Штерн М.Ю.Fast Nondestructive Technique for Analyzing Deflection of Membranes Located on the Substrate//RUSSIAN JOURNAL OF NONDESTRUCTIVE TESTING, 2020, Vol. 56, Is. 5, P. 452-459,

Дюжев Н.А.,Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Штерн М.Ю. Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине// Дефектоскопия, 2020, № 5, С. 52-59,

Дюжев Н.А.,Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А., Махиборода М.А. Experimental Determination of mechanical Propertiesof the Anode Cell of an X-Ray Lithograph//Technical Physics, 2020, Vol. 65, No. 11, P. 1755–1759,

Дюжев Н.А.,Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А., Махиборода М.А.Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа//Журнал технической физики, 2020, Т. 90, В. 11, С. 1838-1842,

Дюжев Н.А.,Денисов В.Е., Орешкин Г.И., Поздняков М.М., Евсиков И.Д.Тепловой МЭМС-датчик для измерения субатмосферного диапазона давлений//Наноиндустрия, 2020, Т. 13, № S4 (99), С. 500-502,

Дюжев Н.А.,Чиненков М.Ю., Демин Г.Д., Рябов В.Т., Поздняков М.М., Евсиков И.Д., Елисеев М.А., Платонов В.И.Тепловой МЭМС-сенсор потока для компактного газового хроматографа//Наноиндустрия, 2020, Т. 13, № S4 (99), С. 470-471,

Дюжев Н.А.,Чиненков М.Ю., Переверзев А.Л., Рябов В.Т.Разработка и интеграция газоанализаторов в информационные системы экологического мониторинга//Наноиндустрия, 2020, Т. 13, № S4 (99), С. 139-140,

Дюжев Н.А., Евсиков И.Д., Митько С.В., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д. Analysis of Electron Emission from a Single Silicon Cathode to Quasi-Vacuum (Air) Using Atomic Force Microscopy//Technical Physics, 2020, Vol. 65, No. 11, Р. 1846-1852,

Дюжев Н.А.,Евсиков И.Д., Митько С.В., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д. Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии//Журнал технической физики, 2020, том 90, вып. 11, С. 1931-1937,

Дюжев Н.А., Патюков Н.Н., Демин Г.Д., Филиппов Н.А., Махиборода М.А., Беспалов В.А. A Study of Field Electron Emission in a Nanoscale Air-Channel Silicon Diode// 33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2020, P. 9203201,

Дюжев Н.А.,Евсиков И.Д., Демин Г.Д., Глаголев П.Ю., Махиборода М.А., Беспалов В.А., Филиппов С.В., Колоско А.Г., Попов Е.О. Circuit Models of Field Emission Silicon Diode and Transistor with a Nanoscale Vacuum Channel//33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2020, July 2020, P. 9203217,

Дюжев Н.А.,Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Чхало Н.И. Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography//Technical Physics, 2020, Vol. 65, P. 1709-1716,

Дюжев Н.А.,Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Чхало Н.И. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишеньюв системе источников мягкого рентгеновского излучениядля проведения процессов рентгеновской нанолитографии// Журнал технической физики, 2020, Т. 90, Вып. 11, С. 1789-1796,

Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Хафизов Р.З., Фетисов Е.А. Modeling the Electromechanical Properties of the MEMS Element of a Thermoelectric Infrared Sensor Based on the Dynamic Seebeck Effect//International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM, 2020-June, 9153484, P. 298-303,

Дюжев Н.А.,Махиборода М.А., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Филиппов Н.А., Коротков С.Ю. Исследование временной деградации кремниевых наноструктур в процессе автоэлектронной эмиссии на основе in-situ методики РЭМ измерений//Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020, 2020, Том 2, С. 879-880,

Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Степанов П.А. Концепция спинтронного мемристора на базе системы взаимосвязанных спин-орбитальных гетероструктур с управляемым количеством промежуточных резистивных состояний//Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020, 2020, Том 1, С.185-186,

Дюжев Н.А.,Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии//Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020, 2020, Том 2, С.853-854,

Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А. Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа// Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020, 2020, Том 2, С.861-862.