Что обсудят на секции «Специальное технологическое оборудование»

В этом году Национальный исследовательский университет «МИЭТ» выступает инновационным и информационным партнером, а также спонсором детской программы форума «Микроэлектроника 2024» — ключевого события года в мире электронных технологий, которое состоится этой осенью в «Сириусе». В преддверии форума рассказываем о секциях Научной конференции, спикерами которых станут миэтовцы или другие представители научного сообщества, государственных структур и бизнеса.

26-27 сентября в рамках Научной конференции форума «Микроэлектроника 2024» участники секции №9 «Специальное технологическое оборудование» обсудят вопросы создания технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства микросхем и полупроводниковых приборов.

Cекция охватывает тематику технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства микросхем и полупроводниковых приборов. Производство конкурентоспособной ЭКБ невозможно без современного специального технологического оборудования с высокой степенью автоматизации, которое и обеспечивает заданные характеристики и технологические нормы. Исследования, разработка и производство технологического оборудования является важнейшей неотъемлемой частью общего развития микроэлектроники в России. Работа секции будет направлена на формирование перспективных направлений в исследовании и разработках технологического оборудования для современного ЭКБ.

Модераторы секции:

• Михаил Бирюков, кандидат технических наук, АО НИИТМ;

• Алексей Алексеев, кандидат физико-математических наук, АО «НТО».

Тематика секции №9 в апреле 2024 года представлена на международной выставке ExpoElectronica. На выставке подведены итоги ежегодной независимой премии Electronica. На премию выдвинуто 22 номинанта в 7 категориях, в том числе в категориях, связанных с созданием технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства микросхем и полупроводниковых приборов.

В категории «Технологии и средства производства электроники» по итогам экспертной оценки победителем стал ФГУП «ВНИИФТРИ», специальной наградой «За развитие технологий и средств производства» отмечены ООО «Лазерный Центр», ООО «Совтест АТЕ» и ООО «Миг Трейдинг». В категории «Микроэлектроника» специальной наградой «За развитие технологий производства микроэлектроники» отмечено ООО «НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ».

ВНИИФТРИ на Премии представил цифровые универсальные осциллографы серий С8-3100, С8-3050 и С8-3035 с дифференцированными активными пробниками ПДА-1000. Решения предназначены для предоставления пользователю визуального отображения сигналов, поступающих на вход прибора с целью их последующего измерения и анализа в частотной, временной и логической области с полосой пропускания до 1 ГГц, 500 МГц и 350 МГц соответственно.

Осциллографы могут использоваться для исследования амплитудных и временных характеристик электрических сигналов, при работах, связанных с тестированием систем передачи данных, средств связи радиолокационных сетей и в других областях. К основным особенностям решения относится анализ входного сигнала во временной и частотной областях, высокая равномерность частотной характеристики, высокопроизводительный канал для удаленного управления при работе в сети, эргономичный интерфейс оператора и возможность дополнительного комплектования пробниками.

«Лазерный центр» представил лазерную систему МикроСЕТ 2.0 для высокопроизводительной прецизионной микрообработки изделий из различных материалов, применяемых для создания и прототипирования электронной и СВЧ-техники. Применяется для создания топологий методом прямой деметаллизации без масок, контурной вырезки диэлектрических подложек и п/п пластин.

В системе применен волоконный лазер российского производства ИК-диапазона с воздушным охлаждением, использование которого позволяет получить универсальные с точки зрения обработки подложек и металлизации характеристики. Уникальная рамная конструкция с интегрированным гранитным модулем исключает воздействие любых вибраций и смещений в процессе эксплуатации оборудования. Координатный стол с оптическими линейными энкодерами обеспечивает точность обработки ±10 мкм на поле 200х200 мм.

«Совтест АТЕ» представил стенд электротермотренировки (ЭТТ) FTT-17. Стенды электротермотренировки предназначены для испытаний на безотказность (ОСТ 11 073.013 метод 700-1, 700-2.1), а также испытаний при воздействии повышенной рабочей температуры рабочей среды (ОСТ 11 073.013 метод 204). Стенд FTT17 – модульная конструкция, которая может гибко видоизменяться в соответствии с требованиями заказчика. Объем рабочего пространства камеры позволяет проводить электротермотренировку партии микросхем (до 25-ти кассет в одном объеме пространства, до 60-ти микросхем на кассете) в диапазоне температур от 50 до 160°С.

Точность поддержания температуры в рабочем пространстве камеры составляет ±2°С. Для задания электрических режимов электротермотренировки в состав стенда могут входить задающие и измерительные модули разработки и производства ООО «Совтест АТЕ», которые позволяют проводить цифровое тестирование на частотах до 50 МГц при изменении уровня выходного сигнала драйвера от 0,6 до 12 В.

«Миг Трейдинг» представил генератор СВЧ-сигналов MBG100, который предназначен для измерений и анализа параметров СВЧ-устройств, работающих в широком диапазоне частот. По совокупному набору технических характеристик генератор MBG100 конкурирует с зарубежными образцами контрольно-измерительного оборудования от ведущих производителей. При этом, являясь полностью отечественной разработкой, решает проблему санкций и запретов на доступ к зарубежным технологиям в области контрольно-измерительного оборудования высокого класса.

НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» представил МЛП1-Дайсер – инновационное оборудование с применением наносекундных и пикосекундных лазерных источников, применяемых в области микроэлектроники и приборостроения. МЛП1-Дайсер предназначен для решения задач прецизионной микрообработки разделения пластин, а также обработки деталей и подложек (керамика, кремний, кварц, стекло, полимеры и др.), полимерных пленок, печатных плат и полупроводниковых материалов для изделий электронной техники.

Конфигурация установки обеспечивает ряд преимуществ: минимальный диаметр лазерного пучка и высокая плотность энергии лазерного излучения обеспечивают «холодную» бездефектную обработку; минимальная дефектная зона; высокий коэффициент поглощения в различных видах материалов; высокая точность обработки и др.