Подготовка кремниевых пластин и контроль их параметров
Содержание курса
Цель программы – формирование профессиональных компетенций в области исследования и контроля параметров кремниевых пластин.
Категория слушателей – инженеры, бакалавры, магистры, аспиранты, научные сотрудники в области материаловедения и технологии материалов, а также студенты получающие высшее образование.
Программа состоит из 8 модулей (72 ак. часов):
- Кристаллография. Основные понятия и определения
- Методы выращивания монокристаллов кремния
- Технология изготовления пластин кремния и эпитаксиальных структур
- Специфика контроля качества в технологии микроэлектроники. Международные стандарты SEMI и ASTM
- Геометрические параметры кремниевых пластин и их контроль
- Структурные параметры и их контроль
- Контроль химического состава
- Контроль электрических характеристик
Выдаваемый документ
Удостоверение о повышении квалификации
Форма обучения
- Очная
- С применением дистанционных технологий
Объем программы
72 ак. ч.