Плазменные процессы в технологии микроэлектроники
Программа направлена на привитие знаний, умений и навыков в области интегральных микро- и нанотехнологий для формирования материалов, элементов и приборов твердотельной электроники плазменными методами.
Содержание курса
Программа состоит из 2 модулей (36 ак. часов):
1 модуль. Физико-химические основы процессов сухого (вакуумно-плазменного) травления: вакуум и вакуумное оборудование, плазма: способы получения, основные процессы, основы фотохимии.
2 модуль. Технологические основы сухого (вакуумно-плазменного) травления: создание маски, основные операции фотолитографического процесса, методы и оборудование вакуумно-плазменного травления.
Выдаваемый документ
Удостоверение о повышении квалификации
Форма обучения
- Очная
- С применением дистанционных технологий