Основные направления научных исследований:

• конструирование и разработка микроэлектромеханических систем (МЭМС);
• разработка конструктивно-технологических принципов создания микромеханических приборов: микрогироскопов, акселерометров, датчиков и др.;
• разработка конструктивно-технологических принципов построения микроэлектронных устройств и компьютерно-интегрированной технологии их производства на основе современной элементной базы, включая вопросы создания многокристальных микромодулей;
• разработка и исследование технологических процессов формирования структур «кремний-на-изоляторе» базовых структур ИМС для специальной аппаратуры и гражданского применения;
• разработка тепловых микроактюаторов для МЭМС и микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС) и устройств на их основе;
• разработка технологии внутреннего монтажа кристаллов на печатных платах;
• разработка и исследование технологии корпусирования кристаллов на уровне пластины;
• разработка технологии изготовления интерпозеров с TSV, 3D микросборок;
• исследование, разработка и изготовление высокоплотных печатных плат;
• разработка и исследование формирования гибко-пластичных оснований для микроэлектронных устройств;
• исследование и создание интегрально – оптических и радиофотонных элементов и устройств.

По результатам выполненных за последние 3 года ОКР и НИР Институтом НМСТ НИУ МИЭТ получены следующие объекты интеллектуальной собственности:

1. Программа для ЭВМ. Программа для создания базы данных для хранения и анализа результатов исследований. №2022669201 от 18.10.2022.

2. Программа для ЭВМ. Программа для автоматизации процесса испытаний при помощи АЦП NI USB 6251. №2022668474 от 06.10.2022.

3. Программа для ЭВМ. Программа для создания графического интерфейса базы данных для хранения и анализа результатов исследований. №2022668512 от 07.10.2022.

4. Программа для ЭВМ. Программа для расчета поправочных коэффициентов датчика. №2022668612 от 10.10.2022.

5. Патент. Способ изготовления чувствительных элементов МЭМС - датчиков. №2757169 от 30.03.2021.

6. Патент на полезную модель. Чувствительный элемент микромеханического датчика №203772 от 27.01.2021.

7. Программа для ЭВМ. Программа для управления скоростью шагового двигателя с помощью микроконтроллера STM32F4. №2021611409 от 27.01.2021.

8. Программа для ЭВМ. Программа для управления скоростью двигателя постоянного тока с помощью микроконтроллера STM32F4. №2021611408 от 27.01.2021.

9. Программа для ЭВМ. Программа для управления программируемым усилителем сигнала AD8557 с помощью микроконтроллера STM32F4. №2021611331 от 26.01.2021.

10. Программа для ЭВМ. Программа обработки и представления данных регистратора инерциальных воздействий при прыжках с парашютом. №2021612168 от 3.02.2021.

11. Программа для ЭВМ. Программа для расчета характеристик микромеханических акселерометров. №2021610488 от 14.01.2021.

В качестве научных достижений Института НМСТ следует отметить:

• Развитие физико-технологических принципов построения наноразмерных устройств фазовой памяти и разработку прототипа ячейки фазовой памяти, 2016 год.
• Разработку конструктивно-технологических решений, анализ и исследование элементов перспективных типов памяти нового поколения большой емкости типа фазовой (PCM), сегнетоэлектрической (FRAM), магниторезистивной (MRAM), 2016 год.
• Разработку конструкции и технологии изготовления инерциальной измерительной системы на основе интегрированных микромеханических акселерометров и гироскопов, 2016 год.
• Создание двухосевого сенсора для систем навигации и ориентирования по магнитному полю Земли на основе наноразмерной тонкопленочной высокочувствительной магниторезистивной структуры, 2016 год.
• Исследование и разработку интеллектуальных МЭМС датчиков с функциями самокалибровки и автоматизированных испытательных комплексов, 2017 год.
• Разработку и освоение серийного производства на отечественном предприятии серии МЭМС-гироскопов и акселерометров, 2018 год.
• Создание технологии изготовления интегрированных сенсоров линейного ускорения, 2019 год.
• Создание сенсорных элементов на основе технологий интегральной оптики и микросистемной техники, интегрированных с волоконнооптическими линиями связи, 2020 год.
• Исследование физико-химических основ процесса герметизации для трёхмерных гетерогенных микросборок с торцевой вертикальной коммутацией, реализуемого при помощи эпоксидных композитов с температурным коэффициентом линейного расширения близким к коэффициенту расширения материалов сборки, 2021 год.
• Разработку базовой технологии производства МЭМС, 2022 год.