Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  

Институт нано- и микросистемной техники

Директор: д.т.н., профессор Сергей Петрович Тимошенков
Телефон:(499) 720-87-68, Внутренний телефон:29-68


Основные направления научных исследований:


По результатам выполненных за последние 3 года ОКР и НИР Институтом НМСТ НИУ МИЭТ получены патенты на изобретения и полезные модели:

1. Патент 153038 Частотный датчик линейных ускорений 2015 г.

2. Патент 2556697 Способ изготовления гибкой микропечатной платы 2015 г.

3. Патент 2559336 Способ микропрофилирования кремниевых структур 2015 г.

4. Патент 154143 Чувствительный элемент микромеханического акселерометра 2015 г.

5. Патент 154439 Чувствительный элемент датчика линейных ускорений 2015 г.

6. Патент 2564810 Линейный микроакселерометр с оптической 2015 г.

7. Патент 155338 Резонансный микромеханический акселерометр 2015 г.

8. Патент 2571880 Способ монтажа микроэлектронных компонентов 2015 г.

9. Патент 160457 Чувствительный элемент интегрального акселерометра 2016 г.

10. Патент 2609764 Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти 2017 г.

11. Патент 2610058 Способ получения материала фазовой памяти.2017 г.

12. Патент 170862 Чувствительный элемент датчика удара 2017г.

13. Патент 2631071 Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти 2017 г.

14. Патент 2636575 Способ изготовления пластичных радиоэлектронных узлов и 2017 г.

15. Патент 2638919 Электронная система компенсационного акселерометра 2017 г.

Изделия микросистемной техники:


3D МЭМС
3D Mems_1.JPG3D Mems_2.JPG
Микромеханические акселерометры АРКХ, ММА, ИМСУ
ARKH,MMA.IMCU.jpg
3D акселерометр
3D aksel.JPG
Микромеханический гироскоп
Mikromehamicheskiy.jpg
Блок инерциальных датчиков
Blok.jpg
Курсовертикаль на базе микромеханических датчиков
kursovertikal.jpg
Инклинометр на базе микромеханических акселерометров
inklinometr.jpg




В качестве научных достижений Института НМСТ следует отметить: