Научные исследования

«Низкотемпературные процессы микро- и нанотехнологии» – научный руководитель д.т.н. С.А. Гаврилов

– междисциплинарные научные исследования в области создания и исследования свойств наноразмерных кристаллов металлов, полупроводников и диэлектриков для солнечных элементов третьего поколения NanoSolar, электронных приборов на основе углеродных нанотрубок и нитевидных нанокристаллов, наносенсоров, микро- и наноэлектромеханических систем, светоизлучающих нанокристаллических структур, самоочищающихся стекол.

«Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроникии наноинженерии» – научный руководитель д.т.н., профессор Д.Г. Громов

– разработка новых материалов и процессов для формирования систем металлизации интегральных схем с нанометровыми технологическими нормами, харвестерных источников и систем накопления энергии на основе наноструктур, прозрачных проводящих покрытий, процессов и исследование механизмов формирования наноструктур, фундаментальные исследования размерных эффектов в тонкопленочных структурах и наносистемах.

«Высокоточные температурные технологии» – научный руководитель д.т.н., доцент Ю.И. Штерн

– работы над созданием новых термоэлектрических устройств, которые используются: в вычислительной и лазерной технике, приборах и оборудовании для научных исследований, термостатах, холодильниках и кондиционерах, медицинских приборах, технологическом оборудовании. В 2002 г. коллективом при поддержке Министерства образования Российской Федерации на базе МИЭТ создан центр коллективного пользования (ЦКП) «Метрология электронных приборов и оборудования». Результаты работы отмечены Почетными дипломами и золотыми медалями на Всемирном салоне изобретений.

«Некристаллические материалы для фотоэлектрических преобразователей энергии» – научный руководитель д.т.н., профессор А.А. Шерченков

– исследования в области физики и технологии некристаллических систем для фотоэлектрических преобразователей энергии, разработка технологии изготовления солнечных элементов на основе фотоэлектрических ячеек, исследования в области физики и технологии материалов, перспективных для изготовления нового поколения устройств фазовой памяти, в частности оптических дисках формата DVD-RW и ячейках энергонезависимой памяти.

«Нанофотоника и волноводная оптика» – научный руководитель к.ф.-м.н. И.Б. Мельников

– разработки и исследования в области нелинейно-оптических свойств углеродных нанотрубок и графена и их применение для синхронизации мод фемтосекундных твердотельных лазеров с диодной накачкой; нелинейные фотонные кристаллы и их использование в устройствах оптической памяти и оптической обработки информации, волоконные лазеры (непрерывные и импульсные) и их использование в качестве сенсоров, исследование оптических свойств наноразмерных спин-туннельных структур и создание устройств оптической памяти и магнитных сенсоров на их основе

«Физика, химия и технология полупроводниковых монокристаллов и гетероструктур» – научный руководитель д.т.н., профессор Е.Б.Соколов

– фундаментальные и прикладные исследования в области роста монокристаллов и гетероструктур для функциональной электроники и солнечной энергетики. Получены термостабильные монокристаллы кремния и полупроводниковых соединений AIIIBV. Разработана универсальная технология геттерирования расплавов и получить монокристаллы кремния с высоким временем жизни носителей заряда и низкой степенью его деградации. Легирование специальными электронейтральными примесями позволило получить полуизолирующие и изолирующие термостабильные монокристаллы соединений с совершенной кристаллической структурой.

«Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников» – научный руководитель к.х.н., доцент Л.И. Матына

– исследование быстрых термических и газофазных процессов формирования пленок широкозонных соединений и оксидов металлов с заданными свойствами и структур на их основе для изделий микро-, опто- и наноэлектроники.

Как в научных исследованиях, так и в вопросах образования кафедра взаимодействует с зарубежными и российскими партнерами.

Зарубежные партнеры кафедры:

• Hahn-Meitner-Institut (Berlin)
• University of Toronto (Canada)
• University of Bath (England)
• University of chemical technology and metallurgy BSUIR (Belarus)
• Universidade de Aveiro (Portugal)
• Vrije Universiteit Brussel (Belgium)
• Universität Duisburg-Essen (Germany)
• Royal Institute of Technology (Sweden)
• Université de Nice Sophia-Antipolis (France)
• Universidad Autónoma de Madrid (Spane)
• Vilniaus universitetas (Lithuania)

В России:

• Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, г. Москва
• Институт общей физики РАН, г. Москва
• Ульяновский государственный университет, г. Ульяновск
• NanoTechnology-Molecular device tools, г. Москва
• Научно исследовательский институт ядерной физики, г. Москва
• Московский институт стали и сплавов, г. Москва
• ФГУП Научно-производственный центр автоматики и приборостроения им. Академика Н.А. Пилюгина, г. Москва
• ФГУП Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений, г. Москва
• Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения РАН, г. Черноголовка
• ФГУП Государственный институт редких металлов, г. Москва
• Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, г. Москва
• Физико-технический институтом им. А.Ф.Иоффе РАН, г. Санкт-Петербург
• Рязанский государственный радиотехнический университет, г. Рязань
• Институт микроэлектроники и информатики РАН, г. Ярославль