НИУ МИЭТ/Университет/Организационная структура/Научно-исследовательский комплекс/Подразделения/Научно-исследовательский институт нанотехнологии (НИИ НТ)/Научные подразделения/Научно-исследовательская лаборатория нанотехнологий микроэлектроники, анализа и диагностики интегральных схем (совместная с ИНМЭ РАН и ФГУ НПК ТЦ МИЭТ)