МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта
Авторизация

Рощин Владимир Михайлович

доктор технических наук, профессор
Рощин Владимир Михайлович
Телефон: (499) 720-85-12, вн.тел 29-33
Факс: (499) 710-22-33
E-mail: fhdek@miee.ru
Аудитория: 4351

ПодразделениеДолжность
Кафедра общей и физической химии (ОФХ)заведующий кафедрой
Факультет ИТСдекан

Краткая биография

Стаж работы в МИЭТ с 1984 г.

Стаж работы по специальности: с 1984 г.

Родился в 1962 г. в г. Москве.

В 1980 г. поступил в МИЭТ на физико-химический факультет.

Трудовую деятельность в МИЭТ начал в 1984 г. в должности лаборанта кафедры «Специальные материалы микроэлектроники». В 1986 г. закончил с отличием физико-химический факультет и приступил к трудовой деятельности в должности инженера кафедры «Специальные материалы микроэлектроники». Работал на должностях научного сотрудника, доцента, профессора.

В течение трех лет занимал должность заместителя проректора по учебной работе (1997-2000).

С 2010 г. является деканом факультета «Интеллектуальные технические системы», с 2012 г. заведующий кафедрой «Общая и физическая химия».

В 1997 г. защитил кандидатскую, а в 2003 г. докторскую диссертации. В 2007 г. присуждено ученое звание профессора по кафедре.

Является членом диссертационного совета Д212.134.04.

Опубликовал более 100 научных трудов, имеет 5 патентов и авторских свидетельств.

Подготовил 4 кандидатов наук.

Принимал участие в выполнении более 35 научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, в том числе в 24 работах в качестве научного руководителя.


Читаемые курсы

  • «Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники»
  • «Физико-химические основы нанотехнологий»

Научная деятельность

Научная специальность: «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».

Область научных интересов: физико-химия и технология наногетерогенных систем, технология сверхтонких пленок металлов и диэлектриков, технология функциональных материалов.

Основные публикации:

  1. V.Shevyakov, S.Lemeshko, V.Roschin. Conductive SPM probes of Ti or W refractory compounds//Nanotechnology.-1998.-V9.-№4.-P.352-355.
  2. S.Gavrilov, V.Shevyakov, V.Roschin, S.Lemeshko. A study of the self-aligned nanometre scale palladium clusters on silicon formation process//Nanotechnology.-1999.-V10.-№2.-P.213-216.
  3. S.Lemeshko, S.Gavrilov, V.Shevyakov, V.Roschin, R.Solomatenko. Investigation of tip-induced ultrathin Ti film oxidation kinetics// Nanotechnology.-2001.-V12.-P.273-276.
  4. Рощин В.М. Импульсное осаждение дуговой электроэрозионной плазмы в технологии наногетерогенных структур//Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России.-2002.-№3.-С.10-13.
  5. Рощин В.М. Проводящие покрытия для кремниевых кантилеверов сканирующих электропроводящих микроскопов//Известия вузов. Сер. Электроника.-2003.-№2.-С.44-49.
  6. Нанотехнологии в электронике. Под ред. Ю.А.Чаплыгина. М.:Техносфера, 2005, 448с.
  7. V.Roschin, M.V.Silibin, V.B.Yakovlev, M.S.Lovygina. Morphology and structure of PZT films//Proceeding of SPIE. 2006.- V.6260.-P. 62600F-1-62600F-8.
  8. V.Roschin, V.B.Yakovlev, M.V.Silibin, M.S.Lovyagina. Stady of Properties of Nanoscale Lead Zirconate Titanate Films//Semiconductors.-2008.-Vol.42.-No.13.- Р. 1492-1495.
  9. Рощин В.М., Силибин М.В. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие. Ч.2. М: Бином. Лаборатория знаний, 2010. 210 с. Гриф УМО.
  10. Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2. Под редакцией чл.-корр. РАН Ю.А. Чаплыгина. Москва: Техносфера, 2013. - 688c. ISBN 978-5-94836-353-0.