В МИЭТ разработали виртуальные производственные участки
Специалисты Института цифрового дизайна и лаборатории ПИШ «Киберфизическое прототипирование специального технологического оборудования» разработали виртуальные высокотехнологичные производственные участки «Фотолитография» и «Ионная имплантация», спроектированные с использованием программно-аппаратных средств виртуальной реальности. Проекты выполнены в партнерстве с АО «Микрон» ( ГК «Элемент») в рамках Программы ПИШ МИЭТ.
Программные комплексы включают в себя интерактивные виртуальные пространства технологических участков процессов фотолитографии и ионной имплантации, а также интерактивные киберфизические модели оборудования, обеспечивающие симуляцию технологических процессов в реальном времени.
В комплекс «Фотолитография» входят:
-
трек для нанесения и проявления фоторезиста (с симуляцией двух разных процессов на одной установке)
-
сканер фотолитографии
-
установка для контроля рассовмещения топологических слоев
-
электронный микроскоп для контроля линейных размеров
-
установка оптического (визуального) контроля пластин
Комплекс «Ионная имплантация» содержит:
-
модели установки ионной имплантации
-
установки быстрого термического отжига
-
дефектоскопа
-
установки контроля дозы
-
установки контроля привносимой дефектности
Разработанные виртуальные комплексы обеспечивают работу в нескольких режимах: демонстрация виртуального производственного участка с оборудованием (виртуальная экскурсия), интерактивное изучение оборудования и технологических процессов в режиме реального времени, самостоятельная работа на виртуальных производственных участках в режиме реального времени.
Виртуальные производственные участки внедрены в образовательные программы Института ПИШ МИЭТ при подготовке магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», программа «Технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники», дисциплины «Базовые процессы и технологии микроэлектроники» и «Методы и средства исследования и оптимизации термических процессов и оборудования». Также они используются при подготовке обучающихся по направлению 11.02.13 «Твердотельная электроника», квалификация «Техник» в колледже электроники и информатики МИЭТ.
В рамках программ «Приоритет 2030» и «Передовые инженерные школы» ведутся разработки виртуальных технологических полигонов и VR-лабораторий, интерактивных киберфизических моделей дорогостоящего сложного оборудования микроэлектронного и робототехнического производств, быстрых симуляторов отработки технологических процессов производства и эксплуатации изделий.
.png)
