В МИЭТ разработали виртуальные производственные участки
Специалисты Института цифрового дизайна и лаборатории ПИШ «Киберфизическое прототипирование специального технологического оборудования» разработали виртуальные высокотехнологичные производственные участки «Фотолитография» и «Ионная имплантация», спроектированные с использованием программно-аппаратных средств виртуальной реальности. Проекты выполнены в партнерстве с АО «Микрон» ( ГК «Элемент») в рамках Программы ПИШ МИЭТ.
Программные комплексы включают в себя интерактивные виртуальные пространства технологических участков процессов фотолитографии и ионной имплантации, а также интерактивные киберфизические модели оборудования, обеспечивающие симуляцию технологических процессов в реальном времени.
В комплекс «Фотолитография» входят: трек для нанесения и проявления фоторезиста (с симуляцией двух разных процессов на одной установке), сканер фотолитографии, установка для контроля рассовмещения топологических слоев, электронный микроскоп для контроля линейных размеров, установка оптического (визуального) контроля пластин.
Комплекс «Ионная имплантация» содержит модели установки ионной имплантации, установки быстрого термического отжига, дефектоскопа, установки контроля дозы, установки контроля привносимой дефектности.
Разработанные виртуальные комплексы обеспечивают работу в нескольких режимах: демонстрация виртуального производственного участка с оборудованием (виртуальная экскурсия), интерактивное изучение оборудования и технологических процессов в режиме реального времени, самостоятельная работа на виртуальных производственных участках в режиме реального времени.
Виртуальные производственные участки внедрены в образовательные программы Института ПИШ МИЭТ при подготовке магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», программа «Технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники», дисциплины «Базовые процессы и технологии микроэлектроники» и «Методы и средства исследования и оптимизации термических процессов и оборудования». Также они используются при подготовке обучающихся по направлению 11.02.13 «Твердотельная электроника», квалификация «Техник» в колледже электроники и информатики МИЭТ.
В рамках программ «Приоритет 2030» и «Передовые инженерные школы» ведутся разработки виртуальных технологических полигонов и VR-лабораторий, интерактивных киберфизических моделей дорогостоящего сложного оборудования микроэлектронного и робототехнического производств, быстрых симуляторов отработки технологических процессов производства и эксплуатации изделий.
.png)
