В 12 секциях конференции «Микроэлектроника и информатика – 2022» приняли участие более 120 человек
Доктор технических наук, профессор, председатель оргкомитета конференции Сергей Александрович Гаврилов отметил, что данное мероприятие за много лет существования зарекомендовало себя как значимое событие не только для МИЭТа, но и для других вузов и отраслевых компаний нашей страны.
«Конференция «Микроэлектроника и информатика – 2022» объединила как молодых ученых, так и именитых конструкторов, специалистов в области литографии, микромеханики, нанотехнологий специального приборостроения, вакуумной техники, оптики, рентгенографии, шаблонов для микроэлектроники. Вместе с представителями из ИФМ РАН, НИЦ «Курчатовский институт», ООО «РнД-ИСАН», ООО «Поликетон», ВНС Института Ядерной физики МГУ им. М.В. Ломоносова, АО «НПП «ЭСТО» и другими уважаемыми коллегами мы обсудили задачи, которые стоят сегодня перед отраслью и попытались выработать для них грамотное комплексное решение. Очень важным стало проведение Школы «Синхротронные и нейтронные исследования для микро- и наноэлектроники», где поднимались такие вопросы, как создание установок безмасочной рентгеновской литографии, источников ультрафиолетового излучения, разработки резисторов для рентгеновской нанолитографии», – отметил Сергей Александрович.
Подводя итоги, участники договорились о дальнейшем сотрудничестве и обмене научными результатами. В рамках Школы «Синхротронные и нейтронные исследования для микро- и наноэлектроники» было решено в сжатые сроки создать отечественный литограф.
Всего в конференции приняли участие 127 человек. Авторам лучших докладов оргкомитет рекомендовал подать заявки для участия в конкурсе «УМНИК», а также прислать статьи в формирующийся сборник, который будет проиндексирован РИНЦ и размещен на сайте Российской электронной библиотеки (e-library).
.jpg)
