Содержание курса

Программа повышения квалификации «Термические процессы и оборудование для производства изделий микроэлектроники, микросистемной техники» направлена на развитие компетенций в области разработки и применения термических процессов для производства микроэлектронных и микроэлектромеханических изделий. Программа ориентирована на сотрудников, инженеров и специалистов, связанных с технологическими процессами микроэлектроники.

Основные знания, получаемые в рамках программы:

Физико-термические процессы: рост монокристаллов, диффузия, эпитаксия, газофазное осаждение.

Применение термодинамики и кинетики в высокотемпературных процессах.

Использование современных систем автоматизированного проектирования (САПР) для моделирования термических процессов и оборудования.

Модули программы:

Модуль 1: Место и назначение базовых термических процессов в технологии микроэлектроники (18 часов)

Краткое содержание: Изучение основных термических процессов, таких как окисление и диффузионное легирование, их роль в производстве микроэлектронных устройств.

Лекции и практические занятия: Основы моделирования теплопроводности и многослойных структур.

Модуль 2: Эпитаксия кремния. Методы и преимущества (26 часов)

Краткое содержание: Применение эпитаксиального наращивания, особенности моделирования процессов эпитаксии и характеристик реакционных камер.

Лекции и практические занятия: Моделирование процессов эпитаксии в САПР.

Модуль 3: Исследование тепло- и массообмена в процессах газофазного осаждения (26 часов)

Краткое содержание: Изучение процессов осаждения слоев в реакторах, исследование тепломассообмена и моделирование нагрева подложек.

Лекции и практические занятия: Исследование характеристик газовых потоков и теплопередачи.

Итоговая аттестация (2 часа)

Краткое содержание: Зачет по результатам изучения всех модулей.

Выдаваемый документ

Удостоверение о повышении квалификации

Форма обучения

• С применением дистанционных технологий

Объем программы

72 академических часа, с возможностью очного и дистанционного обучения с применением электронных модулей.

Режим занятий

Программа включает электронные учебные модули и может быть изучена как в очной, так и дистанционной форме, с использованием интерактивных тренажеров и систем моделирования, таких как Ansys Student и FloEFD/CADFlo.