Кафедра материалов функциональной электроники
Учебный процесс
Бакалавриат
Кафедра осуществляет обучение по направлениям:
22.03.01 Материаловедение и технология материалов по профилю:
- Технология материалов и наноструктур
11.03.04 Электроника и наноэлектроника по профилю:
- Микроэлектроника и твердотельная электроника (набор 2011, 2012 года)
В рамках обучения по данным профилям кафедрой читаются следующие дисциплины:
- Кристаллография – к.х.н., доцент Н.И. Попенко
- Материалы электронной техники – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн, д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Органическая химия – ассистент Ю.И. Шиляева
- Низкотемпературные процессы в технологии микро- и наноэлектроники – д.т.н. А.Н. Белов
- Физико-химия наноструктурированных материалов – д.т.н., профессор С.А. Гаврилов
- Физика и химия поверхности – д.т.н., профессор С.А. Гаврилов
- Полупроводниковые преобразователи энергии – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн, д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Физико-химические основы интегральных микро- и нанотехнологий – д.т.н., профессор Д.Г. Громов
- Общее материаловедение и технология материалов – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн, к.т.н., доцент В.К. Прокофьева
- Основы вакуумных и плазменных технологий микро- и наноэлектроники – к.т.н. К.И. Антоненко
- Методы исследования материалов и структур твердотельной электроники – к.т.н., доцент Л.И. Матына
- Методы исследования наноструктурированных материалов – к.т.н., доцент Л.И. Матына
- Основы вакуумной техники – к.т.н., доцент В.И. Шарапов
- Технология материалов микро-. опто- и наноэлектроники – к.т.н. М.В. Силибин
- Физика и химия материалов функциональной электроники – д.т.н. А.Ф. Яремчук
- Технология и материалы сенсорной и актюаторной техники – к.т.н. М.В. Силибин
- Физик и химия полупроводников – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Физика и химия легированных материалов – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Физические основы функциональной электроники – д.т.н. А.Ф. Яремчук
- Физические основы наноэлектроники и наносистем – д.т.н. А.Ф. Яремчук
- Физико-химические основы электрохимических процессов – к.т.н. А.А. Дронов
Также на кафедре реализуются следующие дисциплины:
- Материаловедение в промышленном дизайне для направления Дизайн, профиль Промышленный дизайн – к.х.н., доцент Н.И. Попенко
- Архитектурно-дизайнерское материаловедение для направления Дизайн, профиль Дизайн среды – к.х.н., доцент Н.И. Попенко
- Материаловедение (Конструкционные и биоматериалы) - для направления Биотехнические системы и технологии, профиль Биомедицинская электроника – к.т.н. А.А. Дронов
- Материалы электронной техники для направления Электроника и наноэлектроника, профили Интегральная электроника и наноэлектроника, Квантовые приборы и наноэлектроника и Нанотехнологии в электронике – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Квантовая оптическая электроника для направления Электроника и наноэлектроника, профиль Квантовые приборы и наноэлектроника – к.ф.-м.н. И.В. Мельников
- Физико-химия наноструктурированных материалов для направления Электроника и наноэлектроника, профили Квантовые приборы и наноэлектроника и Нанотехнологии в электронике – д.т.н., профессор С.А. Гаврилов
- Фотоника для направления Электроника и наноэлектроника, профиль Квантовые приборы и наноэлектроника – к.ф.-м.н. И.В. Мельников
- Материалы электронных средств для направления Конструирование и технология электронных средств, профиль Конструирование и технология микросистем – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
Магистратура
На кафедре осуществляется подготовка магистров по двум направления и по нескольким программам:
Направление 11.04.04 Электроника и наноэлектроника по программам:
- Микроэлектроника и твердотельная электроника – рук. магистерской программы д.т.н., профессор Д.Г. Громов
- Материалы и технологии функциональной электроники рук. магистерской программы д.т.н. А.Н. Белов
В рамках подготовки по данным программам читаются следующие дисциплины:
- Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники – д.т.н., профессор А.А. Раскин
- Компьютерные технологии в научных исследованиях – к.т.н, доцент А.В. Железнякова
- Использование программных средств для вычислительных процессов – к.т.н, доцент А.В. Железнякова
- Дефекты в материалах – к.х.н., доцент Н.И. Попенко
- Физика и технология фотоэлектрических преобразователей энергии – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Основы технологии интегральных электронных приборов на гибких подложках – д.т.н., профессор С.А. Гаврилов
- Современные методы исследования материалов электронной техники – к.т.н, доцент Л.И. Матына
Для программы Микроэлектроника и твердотельная электроника:
- Материалы и процессы формирования металлизации интегральных систем – д.т.н., профессор Д.Г. Громов
- Термометрия. Средства и методы измерения и стабилизации температуры – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
- Электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди – д.т.н. А.Н. Белов
- Материалы для полупроводниковых преобразователей энергии – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Физика и технология полупроводниковых монокристаллов и гетероструктур – к.т.н., доцент В.К. Прокофьева
- Быстрые термические процессы – к.т.н. К.И. Антоненко
- Конструирование и технология термоэлектрических приборов – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
- Материалы для микросистемной техники – д.т.н. А.Н. Белов
Для программы Материалы и технологии функциональной электроники
- Гибридные нанокомпозиты в нанотехнологии – д.т.н. А.Н. Белов
- Основы технологии создания наноструктурированных материалов для электронных и оптоэлектронных приборов – к.т.н., доцент А.В. Железнякова
- Литографические методы в нанотехнологии – к.х.н., доцент Н.И. Попенко
- Электрохимические методы в нанотехнологии – к.т.н. А.А. Дронов
- Самоорганизация и самоформирование в технологии наноструктур – д.т.н. А.Н. Белов
- Функциональные тонкие пленки и наноструктуры в сенсорике – д.т.н. А.Н. Белов
- Физика и технология пористых полупроводников и диэлектриков – к.т.н. А.А. Дронов
Направление 22.04.01 Материаловедение и технология материалов по программам:
- Материалы и технологии наноструктур – рук. магистерской программы д.т.н., профессор С.А. Гаврилов
- Интеллектуальные энергосберегающие системы – рук. магистерской программы д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
В рамках подготовки по данным программам читаются следующие дисциплины:
- Современные проблемы наук о материалах и процессах – д.т.н., профессор А.А. Раскин
- Компьютерные и информационные технологии в науке и производстве – к.т.н, доцент А.В. Железнякова
- Материаловедение и технология современных и перспективных материалов – к.т.н., доцент В.К. Прокофьева
Для программы Материалы и технологии наноструктур:
- Основы технологии одномерных структур – д.т.н., профессор С.А. Гаврилов
- Гибридные нанокомпозиты в нанотехнологии – д.т.н. А.Н. Белов
- Основы технологии создания наноструктурированных материалов для электронных и оптоэлектронных приборов – к.т.н., доцент А.В. Железнякова
- Литографические методы в нанотехнологии – к.х.н., доцент Н.И. Попенко
- Электрохимические методы в нанотехнологии – к.т.н. А.А. Дронов
- Самоорганизация и самоформирование в технологии наноструктур – д.т.н. А.Н. Белов
- Функциональные тонкие пленки и наноструктуры в сенсорике - д.т.н. А.Н. Белов
- Перспективные методы нанолитографии – д.т.н. А.Н. Белов
- Физика и технология пористых полупроводников и диэлектриков – к.т.н. А.А. Дронов
- Атомно-слоевое осаждение в нанотехнологии – к.т.н, доцент А.В. Железнякова
Для программы Интеллектуальные энергосберегающие системы
- Материалы для полупроводниковых преобразователей энергии – д.т.н., профессор А.А. Шерченков, д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
- Конструирование и технология термоэлектрических приборов – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
- Термометрия. Средства и методы измерения и стабилизации температуры – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
- Возобновляемые источники энергии – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Интеллектуальные средства контроля и учета энергоресурсов – к.т.н. М.Ю. Штерн
- Метрологическое обеспечение энергосберегающих систем – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
- Информационные технологии для энергосберегающих систем – к.т.н. М.Ю. Штерн
- Компьютерные аппаратно-программные системы – к.т.н. М.Ю. Штерн
- Физика полупроводников – д.т.н., профессор А.А. Шерченков
- Методы исследования полупроводниковых преобразователей энергии – д.т.н., доцент Ю.И. Штерн
Ежегодно на кафедре проходит защита выпускных работ бакалавров и магистерских диссертаций. Часть выпускников продолжают свои исследования в аспирантуре. В рамках проведения научных исследований по данным направлениям на кафедре защищено более 400 кандидатских и 47 докторских диссертаций.
Кафедра оснащена современным лабораторным и технологическим оборудованием, на базе которого проводится обучение по всем основным и дополнительным образовательным программам, обеспеченное современными учебно-методическими материалами:
- А. Борисов, С. Гаврилов, С. Крутоверцев Химические сенсоры. Учебное пособие // Германия, Saarbrucken, LAP-LAMBERT Academic Publishing GmbH& Co. - 2012. – 299 с.
- Gromov D.G., Gavrilov S.A. Heterogeneous Melting in Low-Dimensional Systems and Accompanying Surface Effects // in book “Thermodynamics - Physical Chemistry of Aqueous Systems” / Edited by Juan Carlos Moreno-Piraján. InTech publisher, 2011, ISBN 978-953-307-979-0, - 434 p.
- С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов Учебное пособие по дисциплине «Физика и химия поверхности» // М.: МИЭТ. - 2011. – 104 с.
- С.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова Конспект лекций по дисциплине «Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем» // М.: МИЭТ. - 2011. – 172 с.
- С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов, Миронов А.Е. Учебное пособие по дисциплине «Физикохимия наноструктурированных материалов» // М.: МИЭТ. - 2011. – 180 с.
- Д.Г. Громов Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Металлизация в системах с наноразмерными элементами» // М.: МИЭТ, 2011. – 60 с.
- С.А. Гаврилов, А.Н. Белов Электрохимические процессы в технологии микро– и наноэлектронике Учебное пособие // М.: Высшее образование. 2009. – 257 с.
- Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков Металлизация ультрабольших интегральных схем // Учебное пособие, под ред. Ю.А. Чаплыгина /М.: Бином, 2009, – 277 с.
- А.А.Шерченков, Б.Г. Будагян Физика и технология полупроводниковых преобразователей энергии. Часть 2 // М.: МИЭТ. - 2007. – 280 с.
- Н.И. Попенко Материаловедение// М.: МИЭТ. - 2007. - 87 с
- А.А. Шерченков Новое поколение солнечных элементов: использование достижений нанотехнологии // Наноматериалы и методы их исследования. - под ред. В.С.Гурова, С.П.Вихрова: учеб. пособие. - Том I. - Рязань: РГРТУ. - 2010. - с.228-254
- Ю.И. Штерн, А.А. Шерченков, Р.Е. Миронов термометрия // М.: МИЭТ. - 2013. - 256 с.
- В.А. Галперин, Е.В. Данилкин, А.И. Мочалов Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях // Учебное пособие, под ред. Ю.А. Чаплыгина /М.: Бином, 2010, - 283 с.
- М.В. Акуленок, В.М. Андреев, Д.Г. Громов, Д.В. Зиновьев, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, К.А. Тузовский Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ под ред.Ю.Н.Коркишко. – М.: Бином. Лаборатория знаний, Т.2: Технологические аспекты. – 2011, – 252 с.
- Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ под ред.Ю.Н.Коркишко. – М.: Бином. Лаборатория знаний, Т.1:Физико-химические основы технологии микроэлектроники // – 2010, –392 с.
- А.А. Раскин, В.К. Прокофьева Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие для вузов: ч.1. // М.: Бином. Лаборатория знаний, – 2010, –164 с.
- Рощин В.М., М.В. Силибин Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие для вузов: ч.2. // М.: Бином. Лаборатория знаний, – 2010, –180 с.
- Н.И. Попенко, А.В. Железнякова Материаловедение. Лабораторный практикум // М.: МИЭТ, 2012. – 72 с.
- Горшкова Е.В., Ю.И. Шиляева Лабораторный практикум по курсу «Органическая химия» // М.: МИЭТ, 2012. – 72 с.
- С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Физика и химия поверхности» // М.: МИЭТ. - 2011. - 24 с
- С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов, А.В. Железнякова, Малкова А.С., Михайлова М.С. Лабораторный практикум по дисциплине «Физика и химия поверхности» // М.: МИЭТ. - 2011. - 48 с
- С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Физика и химия поверхности» // М.: МИЭТ. - 2011. - 24 с
- С.А. Гаврилов, А.Н. Белов Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем» // М.: МИЭТ. - 2011. - 56 с.
- С.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова Лабораторный практикум по дисциплине «Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем» // М.: МИЭТ. - 2011. - 108 с.
- А.А. Дронов, А.В. Железнякова, М.Ю. Назаркин Лабораторный практикум по дисциплине «Физикохимия наноструктурированных материалов» // М.: МИЭТ. - 2011. - 76 с.
- С.А. Гаврилов, Д.Г. Громов, А.Е. Миронов Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Физикохимия наноструктурированных материалов» // М.: МИЭТ. - 2011. - 44 с.
- Д.Г. Громов Учебное пособие по дисциплине «Металлизация в системах с наноразмерными элементами» //М.: МИЭТ, 2011. - 204 с.
- Н.И. Попенко, А.В. Железнякова Кристаллография: Лабораторный практикум // М.: МИЭТ, 2010. - 76 с
- В.М. Рощин, В.Б. Яковлев, М.В. Силибин Сборник лабораторных работ «Технология проводящих и диэлектрических материалов» / // под ред. В.М.Рощина. - М.: МИЭТ, 2006, - 92 с
Аспирантура и докторантура
На кафедре ведется подготовка кадров высшей квалификации по специальностям:
05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
02.00.04 – Физическая химия
05.11.13 – Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
Такие выпускники и сотрудники кафедры, как:
- Гаврилов Сергей Александрович – д.т.н., профессор, проректор по научной работе МИЭТ
- Забеднов Павел Владимирович – генеральный директор внешнеэкономического объединения «Внештехника»
- Сазонов Андрей Юрьевич – д.т.н., профессор, директор центра “Giga-to-Nanoelectronics” в Университете Waterloo, Онтарио, Канада. Занимается исследованиями в области создания солнечных элементов, сенсоров, устройств памяти.
- Стряхилев Андрей Дмитриевич – Университет Waterloo, Онтарио, Канада
- Коркишко Юрий Николаевич – д.ф.-м.н., генеральный директор ООО «Оптолинк»
- Рощин Владимир Михайлович – д.т.н., профессор, декан факультета ИТС
- Гаев Дахир Сайдуллахович – к.х.н., доцент,– зам. декана по учебной работе факультета Микроэлектроники и компьютерных технологий Кабардино-Балкарский государственного университета
представляют яркий пример успешного карьерного роста, подтверждающего востребованность наших студентов в современной инновационной мировой и российской экономике.