История кафедры

В ноябре 2007 года исполнилось сорок лет с момента создания кафедры «Интегральной электроники и микросистем» факультета Электроники и компьютерных технологий Московского института электронной техники.

Первоначально она называлась кафедрой интегральных полупроводниковых схем. Выдающийся вклад в организацию кафедры и становление ее научного потенциала внес первый заведующий кафедрой докт. физ-мат. наук, профессор, директор НИИ молекулярной электроники, в настоящее время академик РАН, научный руководитель Физико-технологического института РАН Валиев К.А. Им были разработаны методические основы подготовки высококвалифицированных специалистов в области микроэлектроники и организована работа кафедры по успешному их выпуску. Большой вклад в становление кафедры и организацию учебного процесса внес заместитель заведующего д.т.н., профессор Орликовский А.А., ныне академик РАН и директор Физико-технологического института РАН.

Кафедра ИПС, открытие учебной лаборатории 4201, 1973 г.

Стоят: Вернер В.Д., Валиев К.А., Кармазинский А.Н., Дейнеховская И.В., Королев М.А., Орлов Б.И., Пашинцев Ю.И., Сквира А.В., Родионов Ю.П., Иванов Е.Н., Старосельский В.И., Парменов Ю.А., Глазов В.М., Темнова Г.Е., Ревелева М.А., Титова И.Н., Орликовский А.А.;

Сидят: Ракова Н.К., Исакина С.Г., Шустина Г.В., Симакова Л.Д

Кафедра ИПС, открытие учебной лаборатории 4201, 1973 г.

На снимке: Родионов Ю.П., Валиев К.А., Симакова Л.Д., Дейнеховская И.В., Старосельский В.И., Парменов Ю.А., Сергеев А.Г., Темнова Г.Е., Глазов В.М., Титова И.Н. (в центре), Исакина С.Г., Ревелева М.А., Иванов Е.Н., Орликовский А.А.; Вернер В.Д., Ракова Н.К., Кармазинский А.Н.

1970 г. Выступает доцент Орликовский А.А. Слушают: Бугров Я.С., Пашинцев Ю.И., Голубев А.П.(в президиуме), Мороча А.К.(в зале), Титова И.Н. (стоит).

Преподавание на кафедре в первый год её образования осуществляли ведущие специалисты в области технологии и схемотехники интегральных схем, кандидаты наук, руководители ведущих подразделений института, такие как Голубев А.П., Баталов Б.В., Пашинцев Ю.И. В 1968 – 1972 годах на кафедру пришли кандидаты наук, доценты Родионов Ю.П., Ракова Н.К., Королев М.А., Мороча А.К., Парменов Ю.А., Ревелева М.А., ассистенты Анфалова Е.С., Глазов В.М. Сквира А.В., Подопригора Н.А.

В 1981 году заведующим кафедрой стал проректор по научной работе, затем ректор МИЭТ, докт. физ-мат. наук, профессор Вернер В.Д. Необходимость углубленной подготовки специалистов-разработчиков интегральных схем в области физических основ твердотельной электроники обусловила изменение названия кафедры, она была переименована в кафедру физики и технологии интегральных микросхем. В коллектив кафедры вошла часть преподавателей и сотрудников кафедры гибридных интегральных схем: Жигальский Г.П., Астахова Н.А., Глазова Г.И. и др.

На снимке: коллектив кафедры ГИС, 1977г. (из архива проф. Жигальского Г.П.)

В 1987 году кафедра отметила 20-летие. К этому моменту на кафедре были созданы научные школы, которые в значительной мере способствовали развитию отечественной науки и техники, по следующим направлениям:

• физика и технология элементов интегральных микросхем и микросистем;
• интегральная схемотехника и технология ИС на арсениде галлия;
• трехмерные интегральные схемы на основе структур «кремний на изоляторе»;
• интегральная схемотехника сверхбыстродействующих ЗУ;
• интеллектуальные мощные ИС;
• перспективная элементная база микро- и наноэлектроники.

В состав кафедры входили несколько научных групп и отраслевая лаборатория (ОНИЛ).

В эти годы под руководством В.Д. Вернера была проделана большая работа по созданию в МИЭТ принципиального нового структурного подразделения – Технологического центра МИЭТ, выросшего затем в крупную научно-техническую организацию, осуществляющую исследования и разработки в области микроэлектроники и микросистемной техники.

Стоят: Старосельский В.И., Суэтинов В.И., Анфалова Е.С., Мороча А.К., Брылов И.Н., Астахова Н.А., Баринов В.В., Тимеров Р.Х.

Сидят: Ревелева М.А., Немцева Н.С., Подопригора Н.А., Глазова Г.И., Ракова Н.К.

20-летие кафедры (1987 г.)

Стоят: Артеменков А.В., Онацько В.Ф., Гордеев Д.Д., Краснов К.В., Ковалдин Д., Тимошенков В.П.

Сидят: Крупкина Т.Ю., Миндеева А.А., Сергеев А.Г., Лавренкова О.К., Бугрова О.В.

20-летие кафедры (1987 г.)

Анфалова Е.С., Ракова Н.К., Мороча А.К., Немцева Н.С., Тимеров Р.Х.

20-летие кафедры (1987 г.)

Стоят: Макаренко А., Баринов В.В., Онацько В., Суэтинов В.И., Старосельский В.И.

Сидят: Подопригора Н., Сквира А.В., Рябышенкова Л., Парменов Ю.А., Жигальский Г.П.

20-летие кафедры (1987 г.)

Стоят: Стрельцов М., Королев М.А., Райнова М., Сапронов И., Брылев И., Глазов В.М.

Сидят: Денисова Т., Карпухина Г., Игнатьев В.В., Ревелева М.А., Астахова Н.А.

20-летие кафедры (1987 г.)

Стоят: Кузин Г.А., Сквира А.В., Макаренко А.

Сидят: Глазов В.М., Ревелева М.А., Парменов Ю.А.

20-летие кафедры (1987 г.)

Стоят: …, Суханов В., Шевяков В.И., …, Путря М.Г., Луканов Н.М., Морозов, Муравин И., Чуканов М.И., Стешин С.А., Савельев А.

Сидят: Кудрявцева Н.В., Середа Н, Райнова М., Огаркова Л., Яровая Н.

20-летие кафедры (1987 г.)

Современные тенденции развития микроэлектроники отразились на названии кафедры, с 1998 года она называется кафедрой интегральной электроники и микросистем. В 1999 году кафедру возглавил ректор МИЭТ, доктор технических наук, профессор, в настоящее время член-корр. РАН Чаплыгин Ю.А.

В настоящее время на кафедре работают 8 профессоров: Чаплыгин Ю.А., Королев М.А., Старосельский В.И., Жигальский Г.П., Шевяков В.И., Путря М.Г., Парменов Ю.А., Крупкина Т.Ю., 5 доцентов ; Астахова Н.А., Балашов А.Г., Красюков А.Ю., Лосев В.В., Миндеева А,А., Шишина Л.Ю., 2 ст. преподавателя: Карев А.В., Титова И.Н., 2 ассистента: Артамонова Е.А., Козлов А.В.

Научная и педагогическая деятельность сотрудников кафедры получила высокую оценку государства:

Валиев К.А. – лауреат Ленинской премии, премии Совмина СССР в области науки и техники;

Чаплыгин Ю.А. – лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники и премии Президента РФ в области образования;

Вернер В.Д. – лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники, заслуженный деятель науки РФ;

Старосельский В.И. – лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники;

Королев М.А. – заслуженный деятель науки РФ.

Выпускники кафедры возглавляют крупные организации и ведущие предприятия в отечественной микроэлектронике, а оставшись в МИЭТе, ведут большую учебно- методическую и научную работу: д.т.н., проф. Шурчков И.О. в 1991-94 г.г. возглавлял Гос. комитет по промышленной политике РФ, Красников Г.Я., член-корр. РАН – генеральный директор ОАО «НИИМЭ и з-д «Микрон», Васильев А.Г., д.т.н., профессор – Генеральный директор ФГУП ГЗ «Пульсар», Сауров А.Н. д.т.н., профессор – директор ГУП НПК «Технологический центр», Беспалов В.А., д.н.т. – проректор МИЭТ, профессора Савченко Ю.В. – декан факультета МП и ТК, Баринов В.В., Горбацевич А.А. – заведующие кафедрами.

На снимке: ветераны кафедры, преподаватели, выпускники на 35-летие МИЭТ (2000 г.)

В рамках перечисленных направлений кафедра тесно сотрудничает с академическими институтами, такие как ФИРАН, ФТИ РАН, ИРЭ РАН, ИППМ РАН и ведущими предприятиями электронной промышленности.

В результате успешной научно-педагогической деятельности указанных научных школ на кафедре было подготовлено 27 докторов наук, более 100 кандидатов наук, а также получено свыше 200 патентов и авторских свидетельств на изобретение, часть из которых внедрена на предприятиях российской электронной промышленности. Основные научные результаты опубликованы более чем в 1000 научных работах.

Большую работу кафедра провела по созданию Института проектирования приборов и систем МИЭТ-Cadence – единственного в России комплексного учебного центра по подготовке магистров в области проектирования СБИС с использованием самого современного оборудования и программного обеспечения. Кафедра была инициатором и организатором международного учебного центра приборно – технологического моделирования МИЭТ – Synopsys, на основе которого проводятся учебные занятия, готовятся курсовые и дипломные проекты, а также магистерские и кандидатские диссертации. Значительный вклад в успешное развитие международных образовательных проектов внесли заведующий кафедрой Чаплыгин Ю.А. и профессора Королев М.А., Путря М.Г., Крупкина Т.Ю., доцент Шишина Л.Ю.