МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта
Авторизация
Кафедра интегральной электроники и микросистем  
Заведующий кафедрой: академик РАН, д.т.н., профессор Юрий Александрович Чаплыгин
Телефон: (499) 720-87-24, факс: (499) 710-19-65, внутренний телефон: 29-24, 25-95
E-mail: ieem@miee.ru
Аудитория: 4238

Кафедра интегральной электроники и микросистем (ИЭМС)

Посмотреть презентацию кафедры (файл *.pdf)

Программа магистратуры «Проектирование приборов и систем (Cadence)»

Он-лайн курсы кафедры ИЭМС


Кафедра ИЭМС является ведущей кафедрой факультета Электроники и компьютерных технологий (ЭКТ).

Учебная и научно-исследовательская работа кафедры ведется в тесном содружестве с партнерами МИЭТ - мировыми лидерами в области проектирования электронной компонентной базы. К ним относятся такие фирмы, как Cadence, Synopsys, Free Scale Semiconductor, ЗАО «IDM», а также ведущие российские предприятия отрасли – ОАО «Ангстрем», ОАО «НИИМЭ и завод Микрон», НПК «Технологический центр», ЗАО «Миландр», НИИ ЦЭВТ, ЗАО МЦСТ и другие.

С 2006 года в рамках Национального проекта «Образование» и Инновационной образовательной программы МИЭТ кафедра интегральной электроники и микросистем является головным подразделением Центра формирования компетенций «Проектирование электронной компонентной базы и систем на кристалле».

В 2002 году на кафедре совместно с американской компаний Cadence был организован международный «Институт проектирования приборов и систем (ИППС)". Компания Cadence Design Systems – мировое индустриеобразующее предприятие в области САПР интегральных схем. Созданный институт ИППС – единственный учебный центр фирмы Cadence вне территории США. Задачей Института проектирования приборов и систем является подготовка российских специалистов в области проектирования интегральных схем и систем на кристалле, знающих программное обеспечение Cadence.

С 1996 г. кафедра сотрудничает с ведущими фирмами в области приборно-технологического моделирования (ISE AG, Synopsys). Подготовка студентов и аспирантов проходит в Учебно-научном центре приборно-технологического моделирования, оснащенном лицензионным программным обеспечением.

Научная школа члена-корреспондента РАН Чаплыгина Юрия Александровича, объединяющая профессорско-преподавательский состав и научных сотрудников кафедры, ведет исследования по направлениям: физика и технология создания интеллектуальных микросистем; методы приборно-технологического моделирования элементной базы микросхем и микросистем; термодинамически обратимые устройства производства информации; «интеллектуальные» силовые (Smart Power) МОП интегральные схемы; плазменные технологии для формирования 3-х мерных структур интегральных схем и микросистем; технология поверхностных наноструктур; нанотехнологии на основе методов сканирующей зондовой микроскопии. Коллективом опубликовано более 100 работ в ведущих научных журналах. За последние 5 лет защищено 3 докторских и 10 кандидатских диссертаций

Из истории кафедры

В ноябре 1967 г. в МИЭТ была создана кафедра Интегральных полупроводниковых схем (ИПС), которую возглавил академик Валиев К. А., директор Физико-технологического института АН РФ (в то время член-корр. АН СССР, директор НИИ Молекулярной Электроники — «Микрон»). Основными направлениями подготовки специалистов и научной работы кафедры были разработки в области технологии и схемотехники интегральных схем, в частности схем памяти.

В 1981 – 1997гг. в связи с изменившимися требованиями к направлениям подготовки специалистов и расширением тематики научных работ кафедра получила название – Физики и технологии интегральных микросхем (ФТИМС), заведующим кафедрой был д.ф.-м.н., профессор Вернер В. Д.

Новым этапом развития кафедры с 1997 г. стала организация многоуровневой подготовки специалистов – бакалавров, инженеров, магистров и связанное с этим существенное расширение и углубление учебных программ и направлений научных исследований. Кафедра получила название Интегральной электроники и микросистем.

Учебная и научно-исследовательская работа

Кафедра готовит бакалавров и магистров по направлению «Электроника и наноэлектроника» профиль бакалавриата «Интегральная электроника и наноэлектроника», магистерские программы «Проектирование приборов и систем», «Проектирование и технология устройств интегральной наноэлектроники».

Тематика работ аспирантов и магистров кафедры ИЭМС включает широкий круг проблем современной микроэлектроники:

  • исследование и проектирование интегральных схем и СФ-блоков;
  • исследование и разработка IP блоков для систем на кристалле;
  • разработка новых структур интегральных элементов микросхем и микросистем на основе кремния;
  • создание и исследование элементной базы термодинамически обратимых устройств производства информации;
  • разработка и совершенствование технологических процессов формирования микро- и наноструктур;
  • моделирование полупроводниковых приборов и элементов микросхем и микросистем;
  • разработка методов диагностики элементов микро- и наносистем на основе сканирующей зондовой микроскопии.

Основные специальности

  • Проектирование интегральных микросхем, микросистем и систем на кристалле;
  • Разработчик технологических процессов и маршрутов производства полупроводниковых интегральных микросхем и микросистем;
  • Разработчик новой элементной базы интегральных микросхем и микросистем;
  • Разработчик схемотехнических решений формирования полупроводниковых интегральных микросхем и микросистем;
  • Диагностика элементов микро- и наносистем на основе сканирующей зондовой микроскопии;
  • Математическое моделирование технологических процессов, маршрутов и интегральных структур;
  • Разработчик программных продуктов для проектирования интегральных микросхем и их элементов.

Ресурсы и техническое оснащение

В распоряжении кафедры имеется:

  • Высокопроизводительные серверы для ресурсоемких приложений: Sun Fire V890 и HP ProLiant ML370, DELL Power Edge R820
  • Центр проектирования БИС (30 рабочих мест IBM PC, 20 рабочих мест на DELL Precision Tower 7810 и 25 рабочих мест на HP xw8400), оснащенный лицензионной программой проектирования СБИС Cadence (компания Cadence Design Systems, США);
  • Центр приборно-технологического проектирования полупроводниковых структур (10 IBM PC и 25 рабочих мест на HP xw8400), оснащенный лицензионной программой приборно-технологического моделирования Sentaurus компании Synopsys, США;;
  • Учебная лаборатория технологических процессов изготовления полупроводниковых интегральных схем, где имеется оборудование для изучения процессов химической и плазмо-химической обработки поверхности полупроводниковых материалов, термических процессов (окисление кремния, диффузия примеси), фотолитографии, измерения параметров полупроводниковых структур и их отдельных элементов; лаборатория располагает установкой быстрого термического отжига RTP1200-100, малогабаритной вакуумной установкой ТМ-Магна нанесения плёнок металлов методом магнетронного распыления; малогабаритной вакуумной установкой ТМ Плазма-РИТ реактивно-ионного травления, малогабаритной вакуумной установкой ТМ - ТИС осаждения тонких пленок методом термического испарения металлов в вакууме, системой магнетронного напыления функциональных слоев СБИС и МЭМС SSP 3000, оптическим микроскоп DM6000.
  • Учебная лаборатория микросхемотехники цифровых и аналоговых микросхем, оснащенная учебно-лабораторным оборудованием для проведения лабораторных работ по курсам «Микросхемотехника цифровых интегральных схем» и «Схемотехника аналоговых интегральных схем» с использованием программы Spice. Лаборатория располагает новейшими средствами диагностики и контроля параметров ИС, включая: высокочастотный осциллограф Tektronix, характериограф Agilent, зондовую установку до 40 ГГц Cascade Microtec, низкочастотные (до 1 ГГц) осциллографы, генераторы и анализаторы, источники питания и мультиметры;
  • Учебная лаборатория физики полупроводниковых приборов и компонентов твердотельной электроники.

Учебное оборудование для лабораторий микросхемотехники и физики полупроводников было разработано сотрудниками кафедры и изготовлено на заводе «Протон», входящем в состав МИЭТа. Этот учебно-лабораторный комплекс (УЛК), в который входит восемь универсальных стендов, был тиражирован по заявкам ряда вузов России. В состав УЛК входит методическое обеспечение, также разработанное на кафедре.