Научная деятельность

Области научных интересов:

• технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов микро- и наноэлектроники, микросистемной техники
• разработка конструкций и технологий изготовления малогабаритных преобразователей линейного ускорения (микроакселерометров), угловой скорости (микрогироскопов), инклинометров, микроповоротных зеркал, систем позиционирования и элементов навигационных блоков, блоков инерциальной информации на основе кремниевых чувствительных элементов
• изучение процессов сращивания и формирования многослойных, сложнопрофильных структур для микроэлектроники и микросистемной техники
• исследование и разработка базовых и технологических процессов изготовления структур КНИ и чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков физических величин
• разработка технологии изготовления и сборки ЧЭ МЭМС

Основные публикации:

1. АНАЛИЗ ЗАВИСИМОСТИ ЖЕСТКОСТИ ТОРСИОНОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ ОТ ИХ ТОЛЩИНЫ Кравченко Л.А., Бритков О.М.: Интеллектуальные системы и микросистемная техника. Сборник трудов научно-практической конференции. 2023. С. 199-204

2. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИИ БЕСПИЛОТНОГО ЛЕТАТЕЛЬНОГО АППАРАТА ДЛЯ ОЧИСТКИ ГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Бритков О.М., Симонов Б.М., Коротков Ю.А. В сборнике: Интеллектуальные системы и микросистемная техника. сборник трудов Научно-практической конференции. Москва, 2022. С. 152-155.

3. FEATURES IMPLEMENTATION ON BALANCING PROCESS IN MANUFACTURE OF RING MICROGYROSCOPE SENSING ELEMENT Nikitkov M., Simonov B.M., Simonov S.B., Britkov O.M. В сборнике: Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. 2021. С. 2459-2462.

4. ДАТЧИКИ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ КОЛЬЦЕВОГО ТИПА Бритков О.М., Симонов Б.М., Кондаков А.Я., Летунова Ф.Д.: Интеллектуальные системы и микросистемная техника. Сборник трудов научно-практической конференции. 2020. С. 35-42. 0

5. ФОРМИРОВАНИЕ КЛЕЕВЫХ СОЕДИНЕНИЙ В ГЕРМЕТИЗИРУЕМЫХ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ИЗДЕЛИЯХ Симонов Б.М., Кондаков А.Я., Летунова Ф.Д., Бритков О.М.: Приоритетные направления развития науки и технологий. доклады XXVI международной научно-практической конференции. Под общей редакцией В.М. Панарина. 2019. С. 175-177.

6. ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА Бритков О.М., Никитков И.М., Симонов Б.М.: Приоритетные направления развития науки и технологий. доклады XXVI международной научно-практической конференции. Под общей редакцией В.М. Панарина. 2019. С. 193-195.

7. PACKAGING PROBLEM IN MICROELECTRONICS DUE TO STRESS AND FRACTURE AT THE METAL-CERAMIC INTERFACE Korobova N., Timoshenkov S., Britkov O., Shepelev S., Mikheev A.: 2015 IEEE 35th International Conference on Electronics and Nanotechnology, ELNANO 2015 - Conference Proceedings. 35. 2015. С. 142-144. 2

8. FEATURES DESIGN AND MANUFACTURING TECHNOLOGY IN MICROELECTROMECHANICAL ENCAPSULATED DEVICES Britkov O., Timoshenkov S., Korobova N., Shepelev S., Mikheev A.: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 7. Сер. "Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems" 2015. С. 95171Z.

9. БАЛАНСИРОВКА КРЕМНИЕВЫХ ДАТЧИКОВ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ В ПРОЦЕССЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Бритков О.М., Анчутин С.А., Тимошенков А.С.: Известия высших учебных заведений. Электроника. 2015. Т. 20. № 1. С. 58-67.

10. ИЗМЕРЕНИЕ УГЛА ОТКЛОНЕНИЯ МИКРОЗЕРКАЛА С ПОМОЩЬЮ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ МАТРИЦЫ Бритков И.М., Евстафьев С.С., Злобин Д.О., Бритков О.М., Тимошенков С.П.: Известия высших учебных заведений. Электроника. 2014. № 4 (108). С. 79-81.

11. IDENTIFYING THE NATURE OF SEMICONDUCTOR'S DISLOCATION DENSITY BY POSITRON-ANNIHILATION SPECTROSCOPY METHOD. OVERVIEW Prokopev E.P., Evstafev S.S., Timoshenkov S.P., Simonov B.M., Grafutin V.I., Timoshenkov A.S., Britkov I.M., Britkov O.M.: Nanotechnology Research and Practice. 2014. № 4 (4). С. 213-229.