| Подразделение | Должность |
| Институт нано- и микросистемной техники | доцент |
Краткая биография
2001 г., Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, магистр техники и технологии по направлению «Электроника и микроэлектроника», тема диссертации: «Влияние облучения низкоэнергетическими ионами на состав поверхности монокристаллов Pb-In»
2006 г., Национальный исследовательский университет «МИЭТ», к.т.н. по специальности 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, тема диссертации: «Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа»
Достижения:
-
2018, победа в конкурсе «Золотые Имена Высшей Школы - 2018»
-
2012/2013 г., грант на поддержку научных исследований в рамках федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы
-
2010/2011 гг., грант на проведение совместных научных исследований с Институтом электронных наносистем Fraunhofer ENAS (Германия) при поддержке российско-германской программы «Михаил Ломоносов-II»
-
2008 г., грант Президента Российской Федерации для поддержки молодых российских ученых – кандидатов наук
Повышение квалификации:
2022
-
Онлайн-курс «Прогностическое мышление: форматы мышления и понимание будущего», Университет 20.35
-
Онлайн-курс «Современное курсостроение: практический модуль», образовательная платформа «Лекториум»
2021
- Тренинг «Техника речи. Online», Тренинговая компания Artspeak
2020
- Онлайн-курс «Nanotechnology: A Maker's Course», Duke University, Coursera
- Онлайн-курс «Инновационная экономика и технологическое предпринимательство», Университет ИТМО, Санкт-Петербург
- «Школа наставников: университет», Сколково
2017
- «Технологические брокеры: драйвер развития национальной инновационной экосистемы», Санкт-Петербург, Университет ИТМО
- «Использование электронного обучения и современных средств ИКТ в учебном процессе вуза», Москва, МИЭТ
2016
- «Теория и практика деятельности отраслевых центров научно-технологического прогнозирования», НИУ ВШЭ, Москва
2008
- Школа-студия научной журналистики, Москва, журнал «Химия и жизнь»
Читаемые курсы
-
Микро- и нанотехнологии производства электронных средств
-
Основы технологии микроэлектроники
-
Конструкторское проектирование и технология производства БИС и СБИС
Научная деятельность
Автор и соавтор более 60-ти научных публикаций, в том числе 2-х учебно-методических пособий и 6-ти патентов. Основные научные публикации:
- А. Бойко, Д. Гаев, Тимошенков С., Корпусирование МЭМС: проблемы и решения// Электроника: Наука, Технология, Бизнес, №2, 2022. С. 88-92. DOI: 10.22184/1992-4178.2022.213.2.88.92
-
S. Sh. Rekhviashvili, D. S. Gaev, and A. N. Boyko, Physical and Topological Modeling of a Volume Condenser Structure with a Schottky Barrier, Russian Microelectronics, 2021, Vol. 50, No. 5, pp. 347–352. https://doi.org/10.1134/S1063739721040090
-
Rekhviashvili, S., Boyko, A. Investigation of Factors Affecting the Radiation Intensity of Quantum Wells. J Russ Laser Res 42, 20–24 (2021). https://doi.org/10.1007/s10946-020-09925-2
-
Бойко А.Н., Боев Л.Р., Тимошенков С.П., Брыкин А.В., «Исследование процесса активации газопоглощающих пленок Ti-V», Наноиндустрия (S89), 2019. С. 546-548 DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.546.548
-
S. P. Timoshenkov, A. N. Boyko, D. S. Gaev, R. M. Kalmykov, An Integrated High-Capacitance Varicap Based on Porous Silicon, Russian Microelectronics, Vol. 47, Iss. 7, 2018. pp. 465-467, https://doi.org/10.1134/S1063739718070156
-
M. Burakov, D. Vertyanov, A. Boyko, A. Sosnovsky, “Investigation of TSV metallization for MEMS packaging technology”, Proc. of 2018 IEEE Conf. of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), Moscow, 2018, pp. 1599-1603. doi: 10.1109/EIConRus.2018.8317406
-
A. Boyko, O. Pyatilova, R. Kalmykov, D. Gaev, S. Timoshenkov and S. Gavrilov, "Study of morphological characteristic of por-Si formed using metal-assisted chemical etching by BET-method and fractal geometry", Proc. SPIE 10224, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2016, 102240H (December 30, 2016); doi:10.1117/12.2267147
-
“Application of Fractal Analysis for Estimation of Morphological and Physical Properties of Nanostructured Materials”, Proc. XII International Conf. on Nanostructured Materials (NANO 2014), Moscow, 2014, pp02.005.
-
A. Boyko, A. Shalimov, S. Timoshenkov, P. Kovyrkin, "Development of driving setup for micromechanical friction vacuum gauge," Proc. SPIE 9440, Int. Conf. on Micro- and Nano-Electronics 2014, 94400U (December 18, 2014); doi:10.1117/12.2180876
-
A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, Y. Chaplygin and V. Petrov, "The Study of Different Structuring Techniques for Creation of Non-Evaporable Getters," Materials Sciences and Applications, Vol. 4 No. 8A, 2013, pp. 57-61. doi: 10.4236/msa.2013.48A007
-
S. Timoshenkov, D. Gaev, A. Boyko, “The Use of Porous Silicon for Nanostructuring of Functional Metal Layers for MEMS”, Applied Mechanics and Materials, Vols. 313-314, 2013, pp. 108-111; doi: 10.4028/www.scientific.net/AMM.313-314.108
-
A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, D. Litmanovich, “Controllable Growth of Copper Fractal Aggregates on Structurally Modified Silicon Surface”, Proc. XXXII Int. Scientific Conf. ELNANO'2013, Kyiv, 2013. pp. 185-187. doi: 10.1109/ELNANO.2013.6551999
-
S. P. Timoshenkov, A. N. Boiko, B. M. Simonov, “Parameter estimation technique for sensitive elements of microaccelerometers and micromirrors”, Semiconductors, Volume 42, Number 13, 2008. pp. 1564-1568.
Патенты:
- Пат. 2614663 Российская Федерация, Варикап и способ его изготовления/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2015156481; заявл. 29.12.2015; опубл. 28.03.2017, Бюл. №10. – 10 с.
- Пат. 2538420 Российская Федерация, Устройство контроля герметичности микроструктур/ А.Н. Бойко, Д.С. Гаев, С.П. Тимошенков. – №2012140768/28; заявл. 25.09.2012; опубл. 27.03.2014, Бюл. №9. – 7 с.
- Пат. 2523718 Российская Федерация, Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2012149068/07; заявл. 20.11.2012; опубл. 20.07.2014, Бюл. №20. – 8 с.
- Пат. на полезную модель 128394 Российская Федерация, Газопоглощающая структура/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – 2012149070/07; заявл. 20.11.2012; опубл. 20.05.2013, Бюл. №14.
- Пат. 2474912 Российская Федерация, Способ получения газопоглощающей структуры/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2011135024/07; заявл. 23.08.2011; опубл. 10.02.2013, Бюл. №4. – 9 с.
- Пат. 2439739 Российская Федерация, Нанокомпозитная газопоглощающая структура/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2010148881/07; заявл. 01.12.2010; опубл. 10.01.2012, Бюл. №1. – 6 с.