Краткая биография

Родился в 1960 году в г. Москве.

В 1984 году закончил Московский институт электронной техники.

В 2002 году защитил кандидатскую диссертацию на соискание степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 на тему «Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы».

Стаж научно-педагогической деятельности составляет более 20 лет, в том числе стаж педагогической работы в высших учебных заведениях более 8 лет. Автор более 50 научных работ.

Специалист в области технологии микро- и наноэлектроники, процессов травления и получения металлических пленок с использованием низкотемпературной газовой плазмы.