Подразделение | Должность |
Кафедра интегральной электроники и микросистем | доцент |
Краткая биография
Родился в 1960 году в г. Москве.
В 1984 году закончил Московский институт электронной техники.
В 2002 году защитил кандидатскую диссертацию на соискание степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 на тему «Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы».
Стаж научно-педагогической деятельности составляет более 20 лет, в том числе стаж педагогической работы в высших учебных заведениях более 8 лет. Автор более 50 научных работ.
Специалист в области технологии микро- и наноэлектроники, процессов травления и получения металлических пленок с использованием низкотемпературной газовой плазмы.
Читаемые курсы
Для потока студентов-инженеров пятого курса ЭКТ факультета (лекции, лабораторные работы):
- Вакуумные и плазменные технологии
Для магистрантов 5 курса ЭКТ факультета (лекции, лабораторные работы):
- Плазменные технологии в СБИС