| Подразделение | Должность |
| Институт физики и прикладной математики (ФПМ) | Старший преподаватель |
Краткая биография
Окончил Московский физико-технический институт (факультет общей и прикладной физики – 2014 г., факультет физической и квантовой электроники – 2016 г.).
В 2020 г. по окончании очной аспирантуры Физтех-школы электроники, фотоники и молекулярной физики МФТИ получил квалификацию «Исследователь, преподаватель-исследователь».
В 2023 г. защитил диссертацию на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по теме «Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления».
С 2014 г. по 2023 г. являлся сотрудником Физико-технологического института им. К. А. Валиева РАН, с 2023 г. по 2025 г. сотрудником НИЦ «Курчатовский институт».
В 2018 г. получил грант РФФИ на исследования в области сухого электронно-лучевого травления, также в 2022-2024 гг. являлся получателем стипендии Президента Российской Федерации для молодых ученых и аспирантов.
В 2025 г. начал педагогическую деятельность в Институте ФПМ НИУ МИЭТ.
Научная деятельность
Сидоров Ф.А. является автором и соавтором более 25 научных публикаций, докладчиком на более 10 российских и международных конференций.
Основные публикации
1. Sidorov F., Rogozhin A. A Model for Dry Electron Beam Etching of Resist // Polymers. – 2024. – Vol. 16. – No. 20. – P. 2880.
2. Sidorov F., Rogozhin A. Thermal Reflow Simulation for PMMA Structures with Nonuniform Viscosity Profile // Polymers. – 2023. – Vol. 15, No. 18. –P. 3731.
3. А. Е. Рогожин, Ф. А. Сидоров. Сечения процессов рассеяния при электронно-лучевой литографии // Микроэлектроника. – 2023. – Т. 52, № 2. – С. 110-126.
4. А. Г. Исаев, Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин. Влияние растекания резиста при его сухом электронно-лучевом травлении на латеральное разрешение // Микроэлектроника. – 2021. – Т. 50, № 1. – С. 21-26.
5. F. Sidorov, A. Rogozhin, E. Zhikharev, M. Bruk. Direct Monte-Carlo simulation of dry e-beam etching of resist / // Microelectronic Engineering. 2020. – Vol. 227. – P. 111313.
6. Sidorov F. A., Rogozhin A. E. Microscopic simulation of e-beam induced PMMA chain scissions with temperature effect // Journal of Physics: Conference Series. – IOP Publishing, 2020. – V. 1695. – No. 1. – P. 012202.
7. А. Е. Рогожин, Ф. А. Сидоров // Моделирование процессов электронно-лучевой литографии Микроэлектроника. – 2020. – Т. 49, № 2. – С. 116-132