Подразделение | Должность |
Институт перспективных материалов и технологий | доцент |
Краткая биография
Выпускница МИЭТ. В МИЭТ работает с 1976 г.: аспирант, младший научный сотрудник (до 1984 г.), доцент кафедры физико-химических основ технологии микроэлектроники (1984–1999 гг.), доцент кафедры материалов и процессов твердотельной электроники (с 1999 г.). В настоящее время - доцент института Перспективных материалов и технологий (ПМТ).
В 2003-2015 гг. - декан факультета (колледжа) Электроники и информатики. С января 2010 г. по февраль 2015 г. – директор института развития профессионального партнерства в образовании, заместитель проректора по учебной работе МИЭТ.
С 2023г. – заместитель директора института ПМТ, Член Ученого совета института ПМТ и член ученого совета НИУ МИЭТ
В 2007/2008 уч.г. прошла профессиональную переподготовку в ГОУ «Институт развития дополнительного профессионального образования» по программе «Преподаватель высшей школы» и получила диплом на ведение профессиональной деятельности в сфере педагогики высшей школы и дополнительного профессионального образования.
Имеет диплом о переподготовке по программе «Психология в образовательном процессе», а также ряд удостоверений о повышении квалификации.
Постоянно повышает квалификацию. Последнее обучение в 2023г. прошла по программе «Синхротронные и нейтронные методы» в МГУ.
Имеет государственную награду – медаль «В память 850-летия Москвы», а также звание «Заслуженный работник МИЭТ» и звание «Почетный работник образования г. Москвы».
Читаемые курсы
- Методы исследования состава, структуры и электрофизических свойств материалов электронной техники
- Дефекты в полупроводниковых структурах и полуфабрикатах интегральных схем
- Дефекты в полупроводниковых материалах, возникающих при обработке поверхности
- Современные методы исследования материалов
- Модуль в программе «Синхротронное излучение в исследовании материалов и технологии микроэлектроники» (ДОП)
- проведением лабораторных работ и семинарских занятий
- разработкой программ учебных дисциплин
- руководство практикой студентов
- руководство выпускными квалификационными работами
Научная деятельность
Является автором 112 работ (учебных пособий, практикумов, 10 авторских свидетельств). В качестве исполнителя и научного руководителя участвовала в проведении 10 НИР, результаты которых внедрены на предприятиях заказчиков.
В последние годы вела работы по программе образовательного блока Центра НТИ «Сенсорика»;, в 2021-2024г.г. – отвечала за учебный раздел проекта «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения» Соглашение №075-15-2021-1350 от 5 октября 2021 г.
Научные интересы: дефекты в кристаллических структурах и методы их исследования, CVD – процессы формирования структур микро-, опто- и наноэлектроники декомпозицией внутрикомплексных соединений, быстрые термические процессы.