Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  
Шевяков Василий Иванович доктор технических наук, профессор

Краткая биография

Выпускник МИЭТа 1975 года.

В МИЭТе работает с 1975 г., профессор кафедры интегральной электроники и микросистем с 1999 г.

Читаемые курсы

  • Процессы микроинтегральной технологии
  • Металлизация СБИС

Научная деятельность

Ученый в области металлизации ИС, сканирующей зондовой микроскопии.

Автор 120 научных трудов.

Основные публикации за 2009-2013 годы:

  1. Шевяков В.И., Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Путря М.Г., под ред. Чаплыгина Ю.А. Технология, конструкции методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. – 422 с.
  2. Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. Металлизация ультрабольших интегральных схем. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. – 277 с.
  3. Гаврилов С.А., Дронов А.А., Шевяков В.И., Белов А.Н., Полторацкий Э.А. Пути повышения эффективности солнечных элементов с экстремально тонкими поглощающими слоями. - Российские нанотехнологии. – М.: 2009. – Т. 4. – С. 103 –109.
  4. Belov A.N., Gavrilov S.A., Tikhomirov A.A., Chaplygin Yu. A., Shevyakov V.I. Test structures to determine tip sharpness. - Nanotechnology in Russia, 2010. – Vоl 5. – № 5-6. – P. 378 – 389.
  5. Belov A.N., Gavrilov S.A.,. Shevyakov V.I., Redichev E.N. Pulsed electrodeposition of metals into porous anodic alumina. - Appl. Phys. // A. DOI 10.1007/s00339-010-5907-6.
  6. Сагунова И.В., Шевяков В.И., Гаврилов С.А., Белов А.Н. - Кинетика локального зондового окисления сверхтонких пленок металлов V, Nb, Ta, Ti, TiN, W. - Известия высших учебных заведений. Электроника. – М.: МИЭТ, 2010. – № 3. – С. 13 – 19.
  7. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Сагунова И.В., Тихомиров А.А.,Чаплыгин ЮА., Шевяков В.И.Тестовая структура для определения радиуса кривизны микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии. - Российские нанотехнологии. – 2010. – № 5-6. – С. 95-98.
  8. Belov A.N., Gavrilov S.A., Shevyakov V.I., Redichev E.N. Pulsed electrodeposition of metals into porous anodic alumina. - Appl. Phys. A. - 2011. – Vol. 102. – № 1. – P. 219 – 223.
  9. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Назаркин М.Ю., Шевяков В.И. Исследование функциональных возможностей сканирующей зондовой микроскопии. - Известия высших учебных заведений. Электроника. - М.: МИЭТ, 2011. – № 3. – С. 75- 81.
  10. Шевяков В.И. Локальное зондовое окисление. Основные проблемы. - Известия ЮФУ. Технические науки. – М., 2011. - № 4 (117). – С. 35-39
  11. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Демидов Ю.А., Шевяков В.И. Особенности формирования маски пористого анодного оксида алюминия для плазменного локального травления полупроводников.- Российские нанотехнологии. – М.: 2011. – № 11-12. – С. 15 – 22.
  12. Belov A.N., Gavrilov S.A., DemidovYu.A., Shevyakov V.I. Features of the Formation of Porous Alumina Mask for Local Plasma Etching of Semiconductors. - Nanotechnologies in Russia. – 2011. – Vol. 6. – № 11-12. – Р. 711 -716.
  13. Шевяков В.И. Учебное пособие по дисциплине «Металлизация в системах с наноразмерными элементами». - М.: МИЭТ, 2011. – 96 с.
  14. Шевяков В.И. Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Металлизация в системах с наноразмерными элементами». - М.: МИЭТ, 2011. – 52 с.
  15. Belov A.N., S. Gavrilov S.A., Nasarkin M., V. Shevyakov V.I., Lemeshko S.V. Peculiarities of Measurements [n Scanning Electrical-Conductivity Microscopy. - Russian Microelectronics. – 2012. - Vol. 7. - P. 91 - 96.
  16. Chaplygin Yu. A. and Shevyakov V.I. Investigation into the Effect of Cantilever Structural Parameters on the Sensitivity of Magnetic Force Microscopy. - Nanotechnologies in Russia. - 2013. - Vol. 8. – Issue 3 - 4. - Р. 186–190.
  17. Чаплыгин Ю.А., Шевяков В.И. Исследование влияния конструктивных параметров кантилеверов на чувствительность метода магнитной силовой микроскопии. - Российские нанотехнологии. - 2013.- Т.8. - № 3-4.- С. 50-54.
  18. Тихомиров А.А., Краснобородько С.Ю., Шевяков В.И. Исследование методики проведения измерений в полуконтактной моде атомно-силовой микроскопии. - Известия высших учебных заведений. Электроника. – M.: МИЭТ, 2013. - № 4. - С. 94-95.
  19. Артамонова Е.А., Красюков А.Ю., Балашов А.Г., Крупкина Т.Ю., Голишников А.А., Путря М.Г., Тимошенков В.П., Шевяков В.И. под.ред. Чаплыгина Ю.А. Нанотехнологии в электронике. - М.: Техносфера, 2013. - 688 с.