| Подразделение | Должность |
| Институт интегральной электроники имени академика К.А. Валиева (ИнЭл) | профессор |
Краткая биография
Выпускник МИЭТа 1975 года.
В МИЭТе работает с 1975 г., главный научный сотрудник кафедры интегральной электроники и микросистем с 2014 года.
Читаемые курсы
- Основы технологии электронной компонентной базы
- Технологические процессы наноэлектроники
Научная деятельность
Ученый в области физики, технологии микро- и наноэлектроники, сканирующей зондовой микроскопии.
Автор более 200 научных трудов, в том числе:
1. Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. под ред. Чаплыгина Ю.А. Металлизация ультрабольших интегральных схем. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. – 277 с.
2. Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Путря М.Г., Шевяков В.И., под ред. Чаплыгина Ю.А. Технология, конструкции, методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 422 с.
3. Шевяков В.И. и др, под ред. Чаплыгина Ю.А. Нанотехнологии в электронике. Под ред. Чаплыгина Ю.А. М.: Вып. 1, 2, 3, 3.1.Техносфера. 2005, 2013, 2015. 2016.