Научная школа-конференция
«Использование синхротронного излучения
для технологии рентгеновской литографии»

21-22 сентября 2023 г.

НИУ МИЭТ проводит научную школу-конференцию «Использование синхротронного излучения для технологии рентгеновской литографии» в целях обмена опытом и научно-техническими результатами в области синхротронных исследований. Приглашаем студентов, аспирантов и молодых исследователей принять участие в школе и ознакомиться с новыми направлениями и методами данной области. Школа проводится в рамках Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027 годы. В работе школы примут участие приглашенные ученые – высококлассные специалисты своей области.

Оргкомитет школы-конференции:

Беспалов В.А., член-корр. РАН, док. тех. наук, профессор
Дюжев Н.А., канд. физ.-мат. наук, директор ЦКП МСТ и ЭКБ.
Баранов О.В., зам. директора ЦКП МСТ и ЭКБ.
Рындина Т.С., канд. физ.-мат. наук, ведущий инженер ЦКП МСТ и ЭКБ.

Программа школы-конференции

21 сентября

10.00-10.10 - Беспалов Владимир Александрович, член-корреспондент РАН, докт. техн. наук, ректор НИУ МИЭТ. Вступительное слово.

10.10-10.55 - Матына Лариса Ивановна, канд. тех. наук, доцент Института перспективных материалов и технологий НИУ МИЭТ. «Синхротронное излучение: источники, свойства, инструментальные возможности».

10.55-11.40 - Золотарев Константин Владимирович, канд. физ.-мат. наук, заведующий сектором Института ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН (Новосибирск), доцент кафедры ускорительной физики Новосибирского государственного университета. «Основные свойства синхротронного и ондуляторного излучения».

11.40-12.25 - Носик Валерий Леонидович, докт. физ.-мат. наук, НИЦ «Курчатовский институт», ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН. «Перспективная рентгеновская EUV оптика для литографических станций на источниках синхротронного излучения».

Перерыв (10 минут)

12.35-13.20 - Лычев Сергей Александрович, докт. физ.-мат. наук, ведущий научный сотрудник, Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН. «Теоретические и экспериментальные методы определения искажений ультратонких пластин при силовых и тепловых воздействиях».

13.20-14.05 - Толстых Олег Александрович, канд. тех. наук, ст. научн. сотр. НЦ «Прецизионная мехатроника» НИУ МЭИ. «Обзор прецизионных столов с магнитной левитацией для литографии».

22 сентября

11:00-12:00 - Круглый стол «Перспективы развития рентгеновской литографии с использованием синхротронного излучения в России».

Школа-конференция проводится рамках выполнения проекта «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения», реализуемому в соответствии с соглашением о предоставлении гранта № 075-15-2021-1350 от 05.10.2021 (внутренний номер 15.СИН.21.0004).

Адрес проведения школы-конференции: г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, д.6, Конференц-зал № 1.

Для участия просьба направить ФИО на адрес info@ckp-miet.ru, чтобы мы добавили Вас в список гостей для упрощения прохода на территорию НИУ МИЭТ.
Участие в работе школы бесплатное.

По вопросам обращаться:
Тел.: +7 (499) 720-69-07, +7 (910) 484-04-25
e-mail: info@ckp-miet.ru
124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл..Шокина, дом 1, НИУ МИЭТ.
124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, д.6, ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ.