+7 (495) 198-00-00 Горячая линия ситуационного центра Минобрнауки
по вопросам поддержки образовательных организаций высшего образования, а также их сотрудников и обучающихся, по вопросам профилактики распространения COVID-19 перейти на сайт МОН
Срок обучения 1008 ч.
Стоимость обучения 400000₽
Приемная комиссия +7 499 734-02-42
Контакты для прессы +7 499 720-87-27

Производство СБИС с наноразмерными топологическими нормами

Программа предназначена для профессиональной переподготовки инженерных кадров предприятий в области производства СБИС с наноразмерными топологическими нормами

Содержание курса

Программа ориентирована на: инженеров, профильных специалистов, имеющих высшее образование

Краткое описание программы:
Основная цель подготовки по программе «Производство СБИС с наноразмерными топологическими нормами» – прошедший подготовку и итоговую аттестацию должен быть готов к профессиональной деятельности в качестве специалиста в области производства СБИС с наноразмерными топологическими нормами.

Подготовка по программе предполагает изучение следующих учебных дисциплин и профессиональных модулей:

  • Техника оптической фотолитографии. Особенности формирования рисунка нанометровых размеров.
  • Оборудование оптической фотолитографии 0,13- 0,065 мкм.
  • Технологические особенности легирования кремния в КМОП СБИС с нанометровыми размерами.
  • Физико - технологические особенности создания подзатворного диэлектрика в КМОП СБИС с нанометровыми размерами.
  • Физико- технологические особенности плазменного травления кремния для создания наноразмерных структур.
  • Физико- технологические особенности создания силицидных контактов.
  • Технология создания термостабильных контактных систем металлизации СБИС. 
  • Особенности многоуровневой металлизации УБИС с медными межсоединениями. Damascene технология.
  • Электрохимические методы осаждения металлов. Особенности осаждения меди.
  • Методы контроля технологических и электрофизических параметров элементов ИМС.
  • Методы приборно-технологического моделирования для разработки приборов и устройств наноэлектроники с наноразмерными технологическими нормами.

Аннотация программы

Оценка качества подготовки включает текущий контроль и итоговую аттестацию в форме защиты выпускной квалификационной работы.

Выдаваемый документ

Диплом о переподготовке

Направление подготовки

  • Проектирование
  • Конструирование электронных средств

Форма обучения

  • Очная