Многофункциональный рентгеновский дифрактометр Rigaku SmartLab

Многофункциональный рентгеновский дифрактометр используется для проведения измерений по определению структурных параметров, качественного и количественного фазового состава кристаллических и поликристаллических тонких пленок, дисперсных систем и структур на их основе.

Дифрактометр многофункциональный Rigaku SmartLab

Характеристики прибора:

• максимальная мощность генератора рентгеновского излучения 3 кВт;
• напряжение на рентгеновской трубке генератора рентгеновского излучения 20-60 кВ;
• ток рентгеновской трубки 2-60 мА;
• размер фокуса рентгеновского пучка 0,4×12 мм;
• θ-θ гониометр, радиус плеча гониометра 285 мм;
• диапазон углов сканирования: от –3 до 162º;
• минимальный угловой шаг 0,0001º;
• система фокусировки зондирующего квазипараллельного пучка на основе щелей Соллера;
• высокопрецизионный предметный столик, обеспечивающий трехмерное перемещение и вращение образца по азимутальному и полярному углу для снятия картин дифракции, в том числе в геометрии In-Plane;
• система фокусировки дифрагированного пучка на основе многослойных зеркал Гёбеля;
• Ge(220) кристаллы-монохроматоры с двукратным и четырехкратным отражением, обеспечивающие угловое разрешение 0,008° и 0,0033° соответственно;
• быстросчетный сцинтилляционный детектор.

Возможности:

• качественный и количественный фазовый анализ слоев в тонкопленочных структурах и дисперсных системах. Определение межплоскостных расстояний в кристаллических пленках в диапазоне линейных размеров от 0,004 до 10,000 нм. Определяемая массовая доля отдельной фазы 0,1-100,0%;
• определение микро- и макронапряжений в тонкопленочных структурах. Модуль определяемых трехосных напряжений 0-400,0 МПа. Определение профиля деформации в многослойных тонкопленочных структурах с пространственным разрешением 10 нм;
• определение преимущественной ориентации кристаллитов в тонких пленках в многослойных структурах.