Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» (НИЛ ИИ)
Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-6490 LV
Растровый электронный микроскоп высокого разрешения с возможностью работы в режиме низкого вакуума. Работает в режиме детектирования вторичных и отраженных электронов. Позволяет проводить исследования морфологии различных образцов, в том числе диэлектрических и органических материалов
Основные характеристики:
|
Разрешение |
Режим высокого вакуума: до 3 нм (30 кВ) Режим низкого вакуума: до 4 нм (30 кВ) |
|
Ускоряющее напряжение |
От 0.3 до 30 кВ |
|
Увеличение |
От x5 до x300000 |
|
Тип катода |
Пре-центрированный нитевидный катод из W (с непрерывным автоматически подаваемым напряжением) |
|
Объективная линза |
Коническая линза |
|
Апертуры объективной линзы |
Переключаемый тип (три возможных размера апертуры) Точная настройка положения по X/Y |
|
Максимальный размер образца |
250×250×150 мм |
|
Столик для образцов |
Эксцентрический гониометр с пятью осями, управляемый компьютером X = 125 мм, Y = 100 мм, Z = от 5 до 80 мм T = от -10 до 90°, R = 360° |
|
Уровень вакуума |
Режим высокого вакуума: 10-5 Па Режим низкого вакуума: от 1 до 270 Па |
|
Изменение уровня вакуума |
Автоматическое (управляется компьютером)
|
Примеры исследований
Измерение линейных размеров
Программное обеспечение позволяет проводить точные измерения линейных размеров на микрофотографиях объектов с различным разрешением
Измерение линейных размеров с различным разрешением на участке схемы с металлизацией
Измерение линейных размеров частиц золота на углероде с высоким разрешением
Исследование профиля поперечного среза
Микрофотография профиля поперечного среза на дорожках в кремниевой пластине, полученных методом плазмо-химического травления (ПХТ)
Биологические исследования
Лепесток пиона
