Сканирующий зондовый микроскоп «SMART-SPM 1000»

Основные характеристики:

• полностью автоматизированный СЗМ позволяет производить автоматическую настройку прибора перед началом измерений;
• высокоскоростной 100 мкм сканер (резонансные частоты сканера больше, чем 7 кГц по XY & 15 кГц по Z), емкостные датчики, обеспечивающие высокую линейность и точное позиционирование;
• регистрирующая система с ИК лазером с длиной волны 1300 нм позволяет измерять широкий диапазон образцов с высоким разрешением, включая образцы чувствительные к видимому свету. С таким лазером пользователь может проводить измерения флуоресценции или рамановского излучения одновременно с АСМ сканированием без перекрестных помех;
• улучшенный контроль обратной связи с активным устранением отставания по фазе по XY, перескоков и «звона» сканера при быстром сканировании без динамического искажения изображения;
• режим True Non-contact и специальная процедура для безопасного подвода зонда к образцу;
• цифровой модульный контроллер с быстрым DSP, USB интерфейсом и возможностью расширения функциональности.

Быстрый сканер на гибких направляющих:

• диапазон сканирования 100мкм x 100мкм x 15мкм (+/-10%);
• высокая резонансная частота (XY – 7 кГц, Z – 15 кГц);
• в 10 раз больше скорость сканирования по XY, чем у большинства доступных на рынке сканеров;
• высокая линейность позволяет использовать сканер для метрологических приложений;
• малошумящие датчики обратной связи позволяют получать разрешение, при котором возможно различать атомарные ступеньки.

Измерительные методики:

• контактная АСМ;
• полуконтактная АСМ;
• бесконтактная АСМ;
• метод латеральных сил;
• проводящая АСМ;
• усовершенствованная МСМ и методика зонда Кельвина;
• сканирующая емкостная микроскопия;
• электро-силовая микроскопия;
• нанолитография и наноманипуляции;
• СТМ.

Пористый титан (размер пор – 70 нм)