Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» (НИЛ ИИ)

Начальник: к.ф.-м.н. Демин Глеб Дмитриевич
Телефон:(499) 720-69-07

Спектральная эллипсометрия

Метод спектральной эллипсометрии позволяет быстро измерять значения толщин и оптических характеристик (n, k и др.) пленок, а также проводить анализ равномерности слоев по образцу (пластине). Используется оптимизационный метод решения обратной задачи эллипсометрии.

Процесс минимизации целевой функции при определении искомых характеристик

Процесс минимизации целевой функции при определении искомых характеристик

Спектральный эллипсометр Horiba Jobin Yvon Auto SE

Прибор позволяет получать информацию об оптических характеристиках и толщинах пленок, пропускающих излучение в диапазоне от 440 до 848 нм, в том числе тонких металлических пленок до ~ 50 нм толщиной.

Элипсометр

Спектральный эллипсометр Horiba Jobin Yvon Auto SE

Технические характеристики:

  • диапазон длин волн 440-848 нм;
  • оптимальный размер области измерения 70×250 мкм и более;
  • фиксированный угол падения 70°;
  • точность определения показателя преломления n ~ 0,002.

Возможности:

  • определение толщин пленок;
  • определение оптических характеристик (n, k и др.), в том числе зависимости оптических характеристик от длины волны;
  • построение карт распределения толщин и оптических характеристик (n, k и др.) пленок;
  • оценка статистических параметров: среднего значения величин, σ, построение гистограмм распределения и др.
  • определение коэффициента отражения;
  • исследование пленок с изменяющимися с течением времени характеристиками;
  • исследование многослойных образцов.

Карта распределения толщины слоя SiO2 по пластине

Карта распределения толщины слоя SiO2 по пластине