Хаханина Татьяна Ивановнадоктор технических наук, профессор ![]()
Краткая биографияОкончила Воронежский государственный университет (1974).
В 1987–1999 гг. — заведующая лабораторией микропримесей кафедры аналитической химии Томского политехнического института, в 1999–2001 гг. — начальник отдела НПК «Технологический центр» МИЭТ. С 2001 г. — заведующая кафедрой ОХЭ. Научная деятельностьУчёный в области методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур. Патентообладатель 10 патентов РФ на изобретения (безотходные технологии очистки поверхности различных материалов) и свидетельств на полезную модель (оборудование для промышленного внедрения). |


