Базовая кафедра «Субмикронная технология СБИС» создана 18 ноября 1998 года.

Базовая кафедра «Субмикронная технология СБИС» (БК СТ СБИС) является учебно-научным структурным подразделением Института интегральной электроники НИУ МИЭТ, действующим на основании договора об организации деятельности базовой кафедры, заключенным между Национальным исследовательским университетом «МИЭТ» и «Акционерным обществом «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» — АО «НИИМЭ».

БК СТ СБИС осуществляет совместно с профильными выпускающими подразделениями подготовку студентов, магистров и аспирантов по программам и учебным планам дисциплин следующих направлений:

• Электроника и наноэлектроника;
• Конструирование и технология электронных средств;
• Информационные технологии и системы связи;
• Информатика и вычислительная техника;
• Материаловедение и технологии материалов;
• Наноматериалы;
• Техносферная безопасность.

Целью деятельности БК СТ СБИС является практическая подготовка обучающихся по образовательным программам соответствующей направленности согласно Договору при реализации учебных предметов, курсов, дисциплин и при проведении практики; подготовки обучающимися выпускных квалификационных работ, вовлечение обучающихся в научно-исследовательский процесс.

Базовая кафедра организует и проводит все виды производственных практик со студентами, обеспечивает подготовку аспирантами и докторантами научных квалификационных работ. На базовой кафедре выполняются научно-исследовательские работы по соответствующим научно-техническим направлениям.