Научно-исследовательская лаборатория «Рентгеновская литография» (НИЛ РЛ) создана 1 декабря 2022 года приказом Ректора МИЭТ № 1054 от 17.11.2022 в структуре научно-технологического центра нано- и микросистемной техники (НТЦ НМСТ), входящего в состав Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» (ЦКП «МСТ и ЭКБ»).

Лаборатория была создана в целях развития научных исследований в области синхротронной и нейтронной диагностики материалов и нано-размерных структур для перспективных технологий и технических систем, а также реализации отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027 годы, утвержденной постановлением правительства РФ от 16 марта 2020г №287, по теме «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения», Соглашение о предоставлении из федерального бюджета гранта в форме субсидии от 05.10.2021 г. № 075-15-2021-1350 (№ 15.СИН.21.0004), и на основании решения ученого совета МИЭТ от 26 октября 2022 г.

Основными направлениями деятельности лаборатории является:

• проведение синхротронных исследований и разработок, необходимых для решения принципиально новых фундаментальных и крупных прикладных задач;
• разработка технологии бесконтактной рентгеновской литографии на базе электроуправляемых МЭМС элементов динамической маски с применением синхротронного и/или плазменного источника;
• разработка перспективных материалов для создания рефракционных и дифракционных;
• компонент рентгеновской оптики;
• разработка программного обеспечения для экспонирования с использованием синхротронного излучения.

Для организации деятельности лаборатории, а также ведения научно-технических работ приглашены специалисты из ведущих профильных учреждений, таких как Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» и ФБГУ Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН.