Разработка сенсора расхода газовых сред на основе теплового чувствительного элемента
Проект завершен в 2020 году
Ответственный исполнитель: к.т.н., Максим Юрьевич Чиненков (e-mail: chinenkov@ckp-miet.ru, моб. тел. 8 (499) 720-69-08).
Назначение продукта:
Сенсор расхода газовых сред используется в датчиках потока газов, которые широко применяются в разных областях реального сектора экономики:
- медицинская отрасль – контроль потока воздуха и газов в аппаратах ИВЛ и анестозиологическом оборудовании
- автомобильная отрасль – датчики массового расхода воздуха (ДМРВ)
- в нефтегазохимической промышленности – учет контроля расхода подачи газов для транспортировки и производства
- в высокотехнологичных отраслях микроэлектроники и биологии – учет контроля расхода подачи газов в чистых комнатах
- подразделения спецсвязи – контроль утечек воздуха в кабелях передачи
Краткое описание
Принцип работы сенсора основан на изменении температуры в области локализации термочувствительных элементов на гибкой многослойной диэлектрической мембране, обусловленном скоростью потока газа. В настоящее время в РФ производятся датчики расхода газа на основе проволочной технологии, в отличие от пленочной такая технология имеет в сотни раз большие размеры и чувствительность на порядок хуже.
Основные пользовательские преимущества:
- высокая точность измерения
- измерение непосредственно массового расхода
- малые габариты устройства
- высокая надежность вследствие отсутствия подвижных частей
- низкая потребляемая мощность
- высокое быстродействие
- низкая стоимость производства благодаря групповой обработке
Основные параметры:
- измеряемая среда – воздух, газ
- рабочий диапазон расхода от 0.04 до 40 л/мин и выше
- погрешность измерения не более 3 %
- температура окружающей среды от +5 до +40 Сº
- выходной сигнал: аналоговый, от 0 до 2,5В
Текущая стадия проекта:
Проект завершен в 2020 году. TRL5 – разработана КД и ТД. Изготовлены экспериментальные образцы.
